[發(fā)明專利]在多孔玻璃內(nèi)部制備三維微流通道的方法有效
申請?zhí)枺?/td> | 201110363901.3 | 申請日: | 2011-11-16 |
公開(公告)號: | CN102489873A | 公開(公告)日: | 2012-06-13 |
發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉昌寧;廖洋;程亞;徐至展 | 申請(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所 |
主分類號: | B23K26/00 | 分類號: | B23K26/00;B23K26/12 |
代理公司: | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人: | 張澤純 |
地址: | 201800 上海*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索關(guān)鍵詞: | 多孔 玻璃 內(nèi)部 制備 三維 流通 方法 | ||
1.一種在多孔玻璃內(nèi)部制備三維微流通道的方法,其特征在于該方法包括下列步驟:
①先將多孔玻璃(9)塊固定在一個透明的玻璃容器(8)中,再將該玻璃容器(8)固定在一個三維平移臺(10)之上,然后在所述的玻璃容器(8)中注入羅丹明溶液(11),將所述的多孔玻璃(9)完全淹沒;
②Nd:YAG倍頻激光器(1)發(fā)出的倍頻光依次經(jīng)小孔光闌(2)、衰減片(3)至分色鏡(6),經(jīng)該分色鏡(6)反射,顯微物鏡(7)聚焦于多孔玻璃(9)內(nèi)部,第一電腦(14)中設(shè)置程序控制驅(qū)動裝置(13)驅(qū)動所述的三維平移臺(10)運動,三維平移臺(10)的運動又導(dǎo)致多孔玻璃(9)運動,冷光源(12)發(fā)出的光通過所述的玻璃容器(8)之底照射所述的多孔玻璃(9)底部,透射光線經(jīng)所述的顯微物鏡(7)聚焦,透過所述的分色鏡(6)后,由CCD(4)接收,該CCD(4)接收的圖像輸出至第二電腦(5),以便實時觀察到整個加工過程;
③光路調(diào)整好后,啟動所述的Nd:YAG倍頻激光器(1)、冷光源(12)、第一電腦(14)和第二電腦(5),所述的Nd:YAG倍頻激光器(1)發(fā)出的中心波長為532nm,脈沖寬度為8ns,重復(fù)頻率為10Hz的倍頻光,依次經(jīng)小孔光闌(2)、衰減片(3)至分色鏡(6),經(jīng)該分色鏡(6)反射,顯微物鏡(7)聚焦于多孔玻璃(9)內(nèi)部,滲透到多孔玻璃內(nèi)部的羅丹明溶液(11)正好吸收波長為532nm的納秒激光的同時產(chǎn)生大量熱能,燒蝕多孔玻璃(9)內(nèi)部,隨著第一電腦(14)控制并通過所述的驅(qū)動裝置(13)驅(qū)動所述的三維平移臺(10)作三維運動,帶動所述的多孔玻璃(9)三維運動,從而加工出三維微流通道;
④將加工完畢之后的多孔玻璃(9)放入爐中進(jìn)行熱處理:以1℃/min的速度上升到1120℃,維持1120℃兩小時之后,再降溫到常溫。
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