[發(fā)明專利]電子部件的高頻特性誤差修正方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110363325.2
• 申請(qǐng)日: 2007-11-29
• 公開（公告）號(hào): CN102520258A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藤井直樹;神谷岳;森太一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社村田制作所
• 主分類號(hào): G01R27/28
• 分類號(hào): G01R27/28;G01R35/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 樊建中

1.一種電子部件的高頻特性誤差修正方法，該方法根據(jù)用實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)對(duì)2端子阻抗部件的電子部件進(jìn)行測(cè)量的結(jié)果，計(jì)算出如果用基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值，

該方法具備：

準(zhǔn)備用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)稱的、高頻特性不同的至少3個(gè)第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的第1步驟；

用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或被認(rèn)為具有與所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料同等的高頻特性的至少3個(gè)第2修正數(shù)據(jù)取得用試料的第2步驟；

根據(jù)在所述第1步驟中準(zhǔn)備的所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)稱的數(shù)據(jù)和在所述第2步驟中用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料的測(cè)量數(shù)據(jù)，決定使用傳輸線路的誤差修正系數(shù)將用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值與用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值聯(lián)系起來的公式的第3步驟；

用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量任意的電子部件的第4步驟；和

根據(jù)在所述第4步驟中獲得的測(cè)量結(jié)果，使用在所述第3步驟中決定的所述公式，計(jì)算出如果用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值的第5步驟，

其特征在于：在所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)中，所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料及所述電子部件或所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料、所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料及所述電子部件被并聯(lián)連接；

所述公式，根據(jù)在用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量電子部件時(shí)測(cè)量導(dǎo)納Y_m的端子1_m、2_m與在用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量電子部件時(shí)測(cè)量導(dǎo)納Y_d的端子1_d、2_d之間連接的誤差模型導(dǎo)出；

計(jì)算從所述端子1_m看的導(dǎo)納時(shí)，所述誤差模型，在所述端子1_m與所述端子1_d之間連接導(dǎo)納Y₁₂，在所述端子1_m和所述導(dǎo)納Y₁₂的連接點(diǎn)與接地之間連接導(dǎo)納Y₁₁，在所述導(dǎo)納Y₁₂和所述端子1_d的連接點(diǎn)與接地之間連接導(dǎo)納Y_f，在所述端子2_d和所述端子2_m之間連接導(dǎo)納Y₂₂，在所述導(dǎo)納Y₂₂和所述端子2_m的連接點(diǎn)與接地之間連接導(dǎo)納Y₂₁；

所述導(dǎo)納Y_f、Y₁₁、Y₁₂、Y₂₁、Y₂₂，

使用在所述第1步驟中測(cè)量至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的導(dǎo)納的結(jié)果Y_d1、Y_d2、Y_d3和在所述第2步驟中對(duì)至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料，測(cè)量所述端子1_m的導(dǎo)納的結(jié)果Y_m11、Y_m12、Y_m13及測(cè)量所述端子2_m的導(dǎo)納的結(jié)果Y_m21、Y_m22、Y_m23，

由下列公式3a和下列公式3b獲得的16組Y₁₁、Y₁₂、Y₂₁、Y₂₂的組合中，

對(duì)下列公式4，使用Y_f1、Y_f2、Y_f3成為一致的至少一個(gè)組合來確定，

[公式3a]

denom＝(Y_d2-Y_d1)Y_m13+(Y_d1-Y_d3)Y_m12+(Y_d3-Y_d2)Y_m11

Y11=±[±Yd2-Yd1Yd3-Yd1Yd3-Yd2Ym12-Ym11Ym13-Ym11Ym13-Ym12]]>

-{(Yd3-Yd2)Ym12Ym13+(Yd1-Yd3)Ym11Ym13+(Yd2-Yd1)Ym11Ym12}]]]>

/denom]]>

Y12=±(Yd2-Yd1)(Yd32+(-Yd2-Yd1)Yd3+Yd1Yd2)(Ym12-Ym11)(Ym132+(-Ym12-Ym11)Ym13+Ym11Ym12)]]>

/denom‾]]>

[公式3b]

denom＝(Y_d2-Y_d1)Y_m23+(Y_d1-Y_d3)Y_m22+(Y_d3-Y_d2)Y_m21

Y21=±[±Yd2-Yd1Yd3-Yd1Yd3-Yd2Ym22-Ym21Ym23-Ym21Ym23-Ym22]]>

-{(Yd3-Yd2)Ym22Ym23+(Yd1-Yd3)Ym21Ym23+(Yd2-Yd1)Ym21Ym22}]]]>

/denom]]>

Y22=±(Yd2-Yd1)(Yd32+(-Yd2-Yd1)Yd3+Yd1Yd2)(Ym22-Ym21)(Ym232+(-Ym22-Ym21)Ym23+Ym21Ym22)]]>

/denom‾]]>

[公式4]

Y_f1＝-[{(Y₂₂+(Y₂₁+Y₀))Y_d1+((Y₂₁+Y₀)+Y₁₂)Y₂₂+Y₁₂(Y₂₁+Y₀)}Y_m11

+{(-Y₁₂-Y₁₁)Y₂₂+(-Y₁₂-Y₁₁)(Y₂₁+Y₀)}Y_d1

+{(-Y₁₂-Y₁₁)(Y₂₁+Y₀)-Y₁₁Y₁₂}Y₂₂-Y₁₁Y₁₂(Y₂₁+Y₀)]

/[{(Y₂₂+(Y₂₁+Y₀)}Y_m11+(-Y₁₂-Y₁₁)Y₂₂+(-Y₁₂-Y₁₁)(Y₂₁+Y₀)]

Y_f2＝-[{(Y₂₂+(Y₂₁+Y₀))Y_d2+((Y₂₁+Y₀)+Y₁₂)Y₂₂+Y₁₂(Y₂₁+Y₀)}Y_m12

+{(-Y₁₂-Y₁₁)Y₂₂+(-Y₁₂-Y₁₁)(Y₂₁+Y₀)}Y_d2

+{(-Y₁₂-Y₁₁)(Y₂₁+Y₀)-Y₁₁Y₁₂}Y₂₂-Y₁₁Y₁₂(Y₂₁+Y₀)]

/[{(Y₂₂+(Y₂₁+Y₀)}Y_m12+(-Y₁₂-Y₁₁)Y₂₂+(-Y₁₂-Y₁₁)(Y₂₁+Y₀)]

Y_f3＝-[{(Y₂₂+(Y₂₁+Y₀))Y_d3+((Y₂₁+Y₀)+Y₁₂)Y₂₂+Y₁₂(Y₂₁+Y₀)}Y_m13

+{(-Y₁₂-Y₁₁)Y₂₂+(-Y₁₂-Y₁₁)(Y₂₁+Y₀)}Y_d3

+{(-Y₁₂-Y₁₁)(Y₂₁+Y₀)-Y₁₁Y₁₂}Y₂₂-Y₁₁Y₁₂(Y₂₁+Y₀)]

/[{(Y₂₂+(Y₂₁+Y₀)}Y_m13+(-Y₁₂-Y₁₁)Y₂₂+(-Y₁₂-Y₁₁)(Y₂₁+Y₀)]。