[發明專利]空間移相菲索球面干涉儀

有效

• 申請號: 201110363171.7
• 申請日: 2011-11-16
• 公開（公告）號: CN102401630A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 劉龍海;方瑞芳;陳貝特;熊超;徐傲;曾愛軍;黃惠杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B9/023
• 分類號: G01B9/023;G02B5/30;G02B1/10
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種空間移相菲索球面干涉儀，包括準直光源(1)、圓起偏器(2)、聚焦透鏡(3)、光闌(4)、第一分束器(5)、第一準直透鏡(6)、第一圖像傳感器(9)、第二準直透鏡(10)、達曼光柵(11)、檢偏器陣列(12)、第二圖像傳感器(13)和計算機(14)，其特征是在所述的第一準直透鏡(6)和待測球面(15)之間設有雙折射薄膜型球面標準鏡(7)，其位置關系是：沿所述的準直光源(1)發出的光束前進方向，依次是所述的圓起偏器(2)、聚焦透鏡(3)、光闌(4)、第一分束器(5)、第一準直透鏡(6)、雙折射薄膜型球面標準鏡(7)而達到所述的待測球面(15)上，經該待測球面(15)反射后在所述的第一分束器(5)的反射光路上，依次是第二分束器(8)、第二準直透鏡(10)、達曼光柵(11)、檢偏器陣列(12)、第二圖像傳感器(11)和計算機(14)，在所述的第二分束器(8)的反射光方向設有第一圖像傳感器(9)，所述的光闌(4)位于所述的聚焦透鏡(3)的后焦點和所述的第一準直透鏡(6)的前焦點，待測球面(15)位于所述的準直光束經過所述的雙折射薄膜型球面標準鏡(7)的出射方向上。

2.根據權利要求1所述的空間移相菲索球面干涉儀，其特征是所述的雙折射薄膜型球面標準鏡(7)由雙折射薄膜和球面標準鏡組成，球面標準鏡的入射面為平面，出射面為球面，所述的雙折射薄膜鍍在球面標準鏡的入射面上，其相位延遲量為90°。

3.根據權利要求1所述的空間移相菲索球面干涉儀，其特征是所述的達曼光柵(11)是二維消零級達曼光柵，它利用衍射效應將一束入射光形成四個光強相等的子光束。

4.根據權利要求1所述的空間移相菲索球面干涉儀，其特征是所述的檢偏器陣列(12)由四個檢偏器在同一個平面內組合形成，四個檢偏器的透光軸方向分別為0°、45°、90°和135°。