[發明專利]一種大口徑非球面朗奇檢測方法無效
| 申請號: | 201110362352.8 | 申請日: | 2011-11-16 |
| 公開(公告)號: | CN102506759A | 公開(公告)日: | 2012-06-20 |
| 發明(設計)人: | 蘇顯渝;郭春鳳;陳文靜;張啟燦;向立群;曹益平;劉元坤 | 申請(專利權)人: | 四川大學 |
| 主分類號: | G01B11/25 | 分類號: | G01B11/25 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 610065 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 口徑 球面 檢測 方法 | ||
1.一種大口徑非球面朗奇檢測方法,其特征是,包括以下步驟:
a)?通過光線追跡和理想面形上給定直正弦條紋的相位信息設計補償正弦光柵上的彎曲條紋,將彎曲條紋顯示在透射液晶顯示屏上;
b)?利用一個離軸點光源發出的光照明整個被測鏡面,其反射光透過補償正弦光柵;
c)?通過攝像機記錄攜帶鏡面相對其理想面形的偏差信息的條紋圖;
d)?分析采集條紋圖,得到被測鏡面的偏差梯度,對偏差梯度積分,恢復被測鏡面的偏差,進而重建被測鏡面的三維面形。
2.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述顯示彎曲條紋圖的透射液晶顯屏被用作補償正弦光柵,并作為相移裝置,使補償正弦光柵產生相移。
3.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述補償正弦光柵包括垂直方向的補償光柵和水平方向的補償光柵,它們分別對應了理想面形上給定的垂直正弦條紋和水平正弦條紋。
4.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述一個離軸點光源使檢測系統更方便,不存在同軸朗奇檢測中疊柵條紋圖對測量結果造成的誤差。
5.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述分析采集條紋圖是通過找攝像機的每個像素點在光柵上的同名點來確定實際橫向像差,以及由光線追跡計算過光柵的實際反射光線與理想面形交點對應的理想橫向像差,然后利用朗奇檢測的幾何原理得到在點光源離軸的情況下沿非球面法線方向的鏡面偏差梯度。
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