[發明專利]石墨烯、石墨烯制備方法及應用有效
| 申請號： | 201110361135.7 | 申請日： | 2011-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN103101907A | 公開（公告）日： | 2013-05-15 |
| 發明（設計）人： | 周明杰;袁新生;王要兵 | 申請（專利權）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術有限公司 |
| 主分類號： | C01B31/04 | 分類號： | C01B31/04;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳中一專利商標事務所 44237 | 代理人： | 張全文 |
| 地址： | 518052 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石墨 制備 方法 應用 | ||
1.一種石墨烯制備方法，包括如下步驟：
將起催化作用的襯底放入反應室中，抽真空；
將襯底的溫度調整至400℃～500℃，通入惰性的氣體，保持1分鐘～60分鐘，使反應室中保持無氧氣氛；
通過射頻輝光放電，激發反應室內的氣體產生等離子體；
向反應室內通入10sccm～200sccm的有機氣體，同時使所述惰性的氣體的通入速度按10sccm/分鐘～50sccm/分鐘變化，反應1～300分鐘，得到石墨烯。
2.如權利要求1所述的石墨烯制備方法，其特征在于，所述抽真空步驟中，將反應室真空度調整至10-3Pa以下，并保持1分鐘～30分鐘。
3.如權利要求1所述的石墨烯制備方法，其特征在于，所述惰性的氣體選自氫氣、氦氣、氮氣或氖氣。
4.如權利要求1所述的石墨烯制備方法，其特征在于，所述惰性的氣體的氣流量為10sccm～200sccm。
5.如權利要求1所述的石墨烯制備方法，其特征在于，所述激發反應室內的氣體，產生等離子體步驟為：
開啟射頻匹配設備，將電壓從0V調整至1.1KV。
6.如權利要求1所述的石墨烯制備方法，其特征在于，所述有機氣體選自甲烷、乙烷、乙炔、乙烯、丙烯中的至少一種。
7.如權利要求1所述的石墨烯制備方法，其特征在于，所述襯底為金屬薄片。
8.如權利要求7所述的石墨烯制備方法，其特征在于，所述金屬薄片選自銅箔、鎳箔、鈷箔或者鋁箔。
9.一種石墨烯，其特征在于，所述石墨烯采用如下步驟制得：
將起催化作用的襯底放入反應室中，抽真空；
將襯底的溫度調整至400℃～500℃，通入惰性的氣體，保持1分鐘～60分鐘，使反應室中保持無氧氣氛；
通過射頻輝光放電，激發反應室內的氣體產生等離子體；
向反應室內通入10sccm～200sccm的有機氣體，同時使所述惰性的氣體的通入速度按10sccm/分鐘～50sccm/分鐘變化，反應1～300分鐘，得到石墨烯。
10.如權利要求9所述的石墨烯在效應晶體管、電極材料、液晶顯示材料或傳感器中的應用。
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