[發(fā)明專(zhuān)利]檢查保護(hù)環(huán)完整性的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110361049.6
• 申請(qǐng)日: 2011-11-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103106290A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 倪凌云;陳博文;蘇慶;孫長(zhǎng)江;張興洲;施龍海
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G06F17/50
• 分類(lèi)號(hào): G06F17/50
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀(jì)鐵

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路版圖設(shè)計(jì)軟件工具中的版圖驗(yàn)證領(lǐng)域，特別是涉及一種檢查版圖設(shè)計(jì)驗(yàn)證中斜線擋住規(guī)則的方法。

背景技術(shù)

ESD(靜電放電)和Latch-up(閂鎖效應(yīng))，均是集成電路產(chǎn)品可靠性評(píng)估的重要項(xiàng)目。據(jù)統(tǒng)計(jì)，芯片在使用中由此導(dǎo)致失效的比例占所有失效的40％以上。

在版圖設(shè)計(jì)過(guò)程中，為了防止靜電放電和閂鎖效應(yīng)引起內(nèi)部電路的失效，需要在版圖中加入相應(yīng)的保護(hù)環(huán)(Guard?Ring)圖形。

請(qǐng)參閱圖1a～圖1c，涉及保護(hù)環(huán)完整性檢查的版圖設(shè)計(jì)規(guī)則，其版圖圖形可大致分為三大類(lèi)：一類(lèi)是輸入輸出區(qū)域的緩沖器件(Buffer器件)10，另一類(lèi)是內(nèi)部器件(Internal器件)20，保護(hù)環(huán)30用于將前兩類(lèi)器件隔離開(kāi)來(lái)。保護(hù)環(huán)30的版圖圖形或者是多條線段組成的環(huán)狀圖形，一般為矩形，如圖1a所示；或者是一條或多條線段，如圖1b、圖1c所示。

保護(hù)環(huán)30需要將緩沖器件10和內(nèi)部器件20完全隔開(kāi)，否則就需要報(bào)錯(cuò)。目前業(yè)界采用的檢查保護(hù)環(huán)完整性的方法是：利用通用的版圖驗(yàn)證工具(例如Mentor公司的Calibre?DRC工具)檢查緩沖器件10和內(nèi)部器件20的正對(duì)面之間是否有保護(hù)環(huán)30進(jìn)行隔離。這種檢查方法并不能找到所有的錯(cuò)誤。如圖1d所示，當(dāng)緩沖器件10與內(nèi)部器件20沒(méi)有正面相對(duì)、而是斜向面對(duì)時(shí)，該方法不能有效檢查二者之間在斜線方向是否有保護(hù)環(huán)30隔開(kāi)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種檢查保護(hù)環(huán)完整性的方法，可用于檢查斜向面對(duì)的緩沖器件與內(nèi)部器件之間是否有保護(hù)環(huán)進(jìn)行隔離，從而在任何情況下均可得到準(zhǔn)確的關(guān)于保護(hù)環(huán)是否完整的結(jié)果。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明檢查保護(hù)環(huán)完整性的方法包括如下步驟：

第1步，檢查緩沖器件和內(nèi)部器件的正對(duì)面之間是否有保護(hù)環(huán)進(jìn)行隔離，當(dāng)發(fā)現(xiàn)有緩沖器件和內(nèi)部器件的正對(duì)面之間沒(méi)有保護(hù)環(huán)進(jìn)行隔離，則報(bào)警；

第2步，在版圖中尋找所有的保護(hù)環(huán)，并記錄每個(gè)保護(hù)環(huán)的圖形坐標(biāo)；

第3步，在版圖中尋找出要求隔離的緩沖器件和內(nèi)部器件，將每對(duì)緩沖器件和內(nèi)部器件的各個(gè)頂點(diǎn)連線，然后過(guò)濾掉水平線段和垂直線段這些正面相對(duì)的線段，剩余的線段都是斜向相對(duì)的線段，并記錄這些連線的圖形坐標(biāo)；

第4步，判斷每條連線與保護(hù)環(huán)之間是否具有交點(diǎn)；

如果一條連線與任一保護(hù)環(huán)具有交點(diǎn)，則刪除該條連線；

如果一條連線與所有保護(hù)環(huán)都沒(méi)有交點(diǎn)，則將該條連線作為結(jié)果輸出，并報(bào)警。

本發(fā)明用于檢查版圖設(shè)計(jì)中保護(hù)環(huán)的圖形是否完整，既可用于緩沖器件和內(nèi)部器件正面相對(duì)的情況(如圖1a、圖1b、圖1c所示)，也可用于緩沖器件和內(nèi)部器件斜向面對(duì)的情況(如圖1d所示)。最終可確保檢查結(jié)果不遺漏任何一個(gè)錯(cuò)誤。

附圖說(shuō)明

圖1a～圖1e是版圖中緩沖器件、內(nèi)部器件和保護(hù)環(huán)的位置示意圖；

圖2是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。

圖中附圖標(biāo)記說(shuō)明：

10為緩沖器件；20為內(nèi)部器件；30為保護(hù)環(huán)。

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參閱圖2，這是本發(fā)明檢查保護(hù)環(huán)完整性的方法的一個(gè)實(shí)施例，包括如下步驟：

第1步，檢查緩沖器件和內(nèi)部器件的正對(duì)面之間是否有保護(hù)環(huán)進(jìn)行隔離。當(dāng)發(fā)現(xiàn)緩沖器件和內(nèi)部器件的正對(duì)面之間沒(méi)有保護(hù)環(huán)進(jìn)行隔離，則進(jìn)行報(bào)警。

該步驟的作用是：如果發(fā)現(xiàn)有未隔離的正面相對(duì)的緩沖器件和內(nèi)部器件，則對(duì)保護(hù)環(huán)的完整性給出報(bào)警。在后續(xù)的第3步中，將過(guò)濾掉水平線段和垂直線段這些正對(duì)邊，保留斜線方向的線段，從而在第3、4步中不再重復(fù)檢查正面相對(duì)的圖形關(guān)系。

第2步，在版圖中尋找所有的保護(hù)環(huán)，并記錄每個(gè)保護(hù)環(huán)的圖形坐標(biāo)。如何在版圖中尋找出保護(hù)環(huán)的圖形是一種現(xiàn)有技術(shù)，在此不再贅述。保護(hù)環(huán)的圖形通常為矩形或線段。如果保護(hù)環(huán)的圖形為矩形，則記錄四個(gè)頂點(diǎn)坐標(biāo)、或三個(gè)頂點(diǎn)坐標(biāo)、或呈對(duì)角線的兩個(gè)頂點(diǎn)坐標(biāo)。如果保護(hù)環(huán)的圖形為線段，則記錄每條線段兩個(gè)端點(diǎn)的坐標(biāo)。這樣便可根據(jù)坐標(biāo)唯一地定位保護(hù)環(huán)的圖形在版圖上的位置。

第3步，在版圖中尋找出要求隔離的緩沖器件和內(nèi)部器件，將每對(duì)緩沖器件和內(nèi)部器件的各個(gè)頂點(diǎn)連線，然后過(guò)濾掉水平線段和垂直線段這些正面相對(duì)的線段，剩余的線段都是斜向相對(duì)的線段，并記錄這些斜向相對(duì)的連線的圖形坐標(biāo)。