[發明專利]單晶爐坩堝取出裝置無效
| 申請號: | 201110360621.7 | 申請日: | 2011-11-15 |
| 公開(公告)號: | CN102400208A | 公開(公告)日: | 2012-04-04 |
| 發明(設計)人: | 程旭兵;吳學軍 | 申請(專利權)人: | 寧夏日晶新能源裝備股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/10 | 分類號: | C30B15/10;C30B35/00 |
| 代理公司: | 銀川長征知識產權代理事務所 64102 | 代理人: | 馬長增 |
| 地址: | 753000 寧夏回*** | 國省代碼: | 寧夏;64 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單晶爐 坩堝 取出 裝置 | ||
技術領域:
本發明涉及單晶硅生產設備技術領域,特別涉及一種單晶爐坩堝取出裝置。
背景技術:
單晶爐是多晶硅轉化為單晶硅工藝過程的必備設備,而單晶硅又是光伏發電和半導體行業的基礎原料。單晶硅作為現代信息社會的關鍵支撐材料,是目前世界上最重要的單晶材料之一,它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料,也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。
在硅單晶拉制前,需要利用坩堝取出機構取出坩堝,一般的單晶爐坩堝取出機構,都是采用人工拆裝式來實現,如此勞動強度大且不安全。
發明內容:
有鑒于此,有必要提供一種省力、安全的單晶爐坩堝取出裝置。
一種單晶爐坩堝取出裝置,包括懸吊部及安裝在懸吊部上的掛鉤,懸吊部包括起吊架、上支撐環、固定件、連接桿、下支撐環、底托、把手,起吊架上端與掛鉤固定連接,起吊架的下端固定在上支撐環上,連接桿的兩端分別從上支撐環、下支撐環上穿過,并通過固定件將連接桿與上支撐環、下支撐環相對的可旋轉的固定,把手的一端固定安裝在連接桿的從上支撐環穿出的端部,底托的一端固定安裝在連接桿的從下支撐環穿出的端部,其中把手的另一端與底托的另一端伸出方向相反,且把手、底托與上支撐環、下支撐環相互平行,底托的另一端的指向下支撐環的軸線。
利用本發明提供的單晶爐坩堝取出裝置對坩堝進行取出操作時,旋轉把手,底托隨著旋轉,以使底托托住坩堝的底部,再利用與掛鉤連接機械設備把坩堝從爐體中取出,需要將放置在石墨托的坩堝釋放時,只需相反方向旋轉把手,使底托隨著旋轉,以使底托離開坩堝的底部,如此不需要工人手動拆卸單晶爐坩堝取出裝置,就可使單晶爐坩堝取出裝置與坩堝的固定與分離,進而減小了工人的勞動強度,且能保證工人的安全。
附圖說明:
附圖1是一較佳實施方式的單晶爐坩堝取出裝置的結構示意圖。
附圖2是圖1中單晶爐坩堝取出裝置的另一角度的結構示意圖。
附圖3是圖1中球頭柱塞的結構示意圖。
附圖4是圖1中單晶爐坩堝取出裝置的應用示意圖。
圖中:單晶爐坩堝取出裝置60、懸吊部62、起吊架621、上支撐環622、固定件623、連接桿624、下支撐環625、底托626、把手627、球頭柱塞628、殼體6281、彈簧6282、滾珠6283、定位座629、掛鉤63、中軸81、石墨托82、石墨坩堝83、石英坩堝84、坩堝升降機構86
具體實施方式:
如圖1及圖2所示的單晶爐坩堝取出裝置60包括懸吊部62及安裝在懸吊部62上的掛鉤63。
懸吊部62包括起吊架621、上支撐環622、固定件623、連接桿624、下支撐環625、底托626、把手627、球頭柱塞628、定位座629。
起吊架621上端與掛鉤63固定連接,起吊架621的下端固定在上支撐環625上。
連接桿624的兩端分別從上支撐環622、下支撐環625上穿過,并通過固定件623將連接桿624與上支撐環622、下支撐環625相對的可旋轉的固定。在本實施方式中,固定件623為螺帽,連接桿624上設置于螺帽配合的螺紋,上支撐環622、下支撐環625上對應的設置有定位孔,連接桿624的兩端分別對應穿過上支撐環622、下支撐環625的定位孔后,通過螺帽與上支撐環622、下支撐環625在上支撐環622、下支撐環625的軸線方向上相對鎖定。
把手627的一端固定安裝在連接桿624的從上支撐環622穿出的端部,底托626的一端固定安裝在連接桿624的從下支撐環625穿出的端部,其中把手627的另一端與底托626的另一端伸出方向相反,且把手627、底托626與上支撐環622、下支撐環625相互平行,底托626的另一端的指向下支撐環625的軸線。在本實施方式中,把手627、底托626為長條形,把手627、底托626的一端都設置有固定孔,連接桿624的兩端分別對應的穿過把手627、底托626的固定孔,并通過螺帽鎖定。
定位座629固定在上支撐環622上且靠近把手627,球頭柱塞628安裝在定位座629上,把手627靠近連接桿624端部的位置設置用于供球頭柱塞628頂入的定位孔。在本實施方式中,定位座為“L”形;請同時參看圖3,球頭柱塞628包括殼體6281、彈簧6282及滾珠6283,彈簧6282及滾珠6283安裝在殼體6281內,且滾珠6283的部分從殼體6281上的圓形口露出,其中滾珠6283的直徑大于圓形口的直徑。
以下描述單晶爐坩堝取出裝置60取放坩堝的過程,請同時參看圖4,硅單晶作業過程中,坩堝升降機構86帶動中軸81上升,在石墨托82的作用下,石墨坩堝83和石英坩堝44一起上升,當到達限位時,通過坩堝取出機構60將石墨坩堝83和石英坩堝84取出,具體為:旋轉把手627,底托626隨著旋轉,通過球頭柱塞628定位,當把手627與球頭柱塞628成90度時,可用于取出石墨坩堝83和石英坩堝84;當把手627與球頭柱塞628成0度時,坩堝取出機構60可從石墨坩堝63的外側取出。
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