[發明專利]配置電極保護套的單晶爐

有效

• 申請號: 201110360606.2
• 申請日: 2011-11-15
• 公開（公告）號: CN102400230A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 吳學軍;周凱平
• 申請（專利權）人: 寧夏日晶新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;F27D11/00
• 代理公司: 銀川長征知識產權代理事務所 64102
• 代理人: 馬長增

技術領域：

配置電極保護套的單晶爐屬于冶煉機電技術領域，特別涉及配置單晶爐熱場電極保護裝置。

背景技術：

單晶硅是光伏發電和半導體行業中的基礎原料，單晶硅作為現代信息社會的關鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料；單晶爐是多晶硅轉化為單晶硅生產過程中的必備設備；目前，單晶爐熱場電極保護一般采用石墨護套內充填石英材料解決硅液沿軸向漏出，此裝置保護安全系數低、時有設備損壞現象。

發明的內容：

本發明配置電極保護套的單晶爐發明目的在于：改進單晶爐電極保護結構消除安全隱患，設計制造一種與現有技術不同的電極保護單晶爐。

本發明配置電極保護套的單晶爐是這樣實現的：含硅液，由軸向阻液板、石墨護套、爐底護盤、石英護套、石墨電極組成；石墨電極的下端與設備連接，外側套有石英護套；爐底護盤裝在石墨護套上；石墨護套套裝在石英護套上；軸向阻液板和石墨電極同軸心配裝在石英護套頂端外側；軸向阻液板由石英片板或陶瓷材料制造。

硅單晶生產作業過程中，泄漏出來的硅液在軸向阻液板的作用下，流到爐底護盤上，不會沿著石墨電極軸向流到設備上。

本發明配置電極保護套的單晶爐的有益效果是：消除安全隱患，降低成本，提高作業效率；拆卸使用方便，便于維修更換。

附圖說明：

附圖是配置電極保護套的單晶爐結構示意圖。

圖中：硅液1、軸向阻液板2、石墨護套3、爐底護盤4、石英護套5、石墨電極6。

具體實施方式：

本發明配置電極保護套的單晶爐含硅液1，并由軸向阻液板2、石墨護套3、爐底護盤4、石英護套5和石墨電極6組成；石墨電極6的下端與設備連接，外側套有石英護套5；爐底護盤4裝在石墨護套3上；石墨護套3套在石英護套5上；軸向阻液板2和石墨電極6同軸心配裝在石英護套5頂端外側；軸向阻液板2由石英片板或陶瓷材料制造。