[發(fā)明專利]檢驗(yàn)設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110360588.8
• 申請日: 2011-11-14
• 公開（公告）號: CN102565078A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 洪鐘圭;全文榮;金弘珉;許湞;尹相圭
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社高永科技
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 顧紅霞;何勝勇

1.一種檢驗(yàn)設(shè)備，包括：

工作架部，其用于將板移動到測量位置并且支撐所述板；

光學(xué)組件，其包括：

投射部，其布置在所述板的上方，以將光柵圖案光投射到所述板上；

圖像采集部，其布置在所述投射部的側(cè)部處，以接收被所述板向上反射的光柵圖案光并且采集反射圖像；以及

第一光路改變部，其改變被所述板向上反射的光柵圖案光的光路并且將光柵圖案光引導(dǎo)到所述圖像采集部，從而使光柵圖案光向下入射到所述圖像采集部中；以及

光學(xué)組件移動部，其布置在所述光學(xué)組件的上方，并且與所述光學(xué)組件相連以使所述光學(xué)組件移動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述工作架部包括目標(biāo)移動裝置，所述目標(biāo)移動裝置用于將所述板移動到所述測量位置，

所述目標(biāo)移動裝置使所述板沿第一方向移動，所述光學(xué)組件移動部使所述光學(xué)組件沿與所述第一方向大致垂直的第二方向移動，并且

所述圖像采集部布置在所述投射部的與所述第二方向?qū)?yīng)的第一側(cè)部處。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢驗(yàn)設(shè)備，還包括線纜引導(dǎo)部，所述線纜引導(dǎo)部布置在所述投射部的第二側(cè)部處，所述第二側(cè)部與所述投射部的布置有所述圖像采集部的第一側(cè)部相反。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述光學(xué)組件移動部布置在所述線纜引導(dǎo)部上方并且與所述線纜引導(dǎo)部相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述第一光路改變部包括第一反射鏡，所述第一反射鏡將被所述板向上反射的光柵圖案光水平地反射向所述投射部的布置有所述圖像采集部的側(cè)部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述第一光路改變部還包括第二反射鏡，所述第二反射鏡將被所述第一反射鏡水平反射的光柵圖案光向下反射向所述圖像采集部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述投射部布置成與所述板大致垂直，并且

所述光學(xué)組件還包括第二光路改變部，所述第二光路改變部改變光路，從而使得來自所述投射部的光柵圖案光傾斜地入射到所述板上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述光學(xué)組件包括2m個投射部，m為自然數(shù)，當(dāng)從俯視圖中觀察時，所述2m個投射部以規(guī)則的間隔分隔開地布置在與所述板大致平行的圓周上，

所述第二光路改變部包括布置在投射部中每一個投射部下方的第三反射鏡和布置在所述第三反射鏡下方的第四反射鏡，并且

所述第三反射鏡將向下入射到所述第三反射鏡上的光柵圖案光沿與所述投射部大致垂直的方向反射向布置在所述投射部下方并且面向所述投射部的所述第四反射鏡，所述第四反射鏡將來自所述第三反射鏡的光柵圖案光反射向所述板。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述2m個投射部中的每個投射部均包括用于產(chǎn)生光的光源和用于將來自所述光源的光轉(zhuǎn)換成光柵圖案光的光柵部件，與所述2m個投射部中的每個投射部對應(yīng)的所述光柵部件被一個光柵移動裝置移動。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述光學(xué)組件還包括照明部，所述照明部與所述投射部、所述圖像采集部和所述第一光路改變部相連成一體，所述照明部布置在所述光學(xué)組件的主體的下方以向所述板提供光。

11.一種檢驗(yàn)設(shè)備，包括：

目標(biāo)移動部，其將板移動到測量位置；

投射部，其將光柵圖案光投射到所述板上；

圖像采集部，其布置在所述投射部的側(cè)部處，以通過接收被所述板反射的光柵圖案光來采集反射圖像；以及

光路改變部，其改變被所述板反射的光柵圖案光的光路并且將光柵圖案光引導(dǎo)到所述圖像采集部。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢驗(yàn)設(shè)備，還包括并排布置的至少兩個工作架，其中，每個工作架均從相鄰的設(shè)備接納板，并且獨(dú)立地支撐所接納的板，并且獨(dú)立地對每個板進(jìn)行檢驗(yàn)。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢驗(yàn)設(shè)備，還包括光學(xué)組件移動部，所述光學(xué)組件移動部布置在所述投射部和所述圖像采集部的上方，以使所述投射部和所述圖像采集部移動。