[發明專利]生物傳感器及其制造方法、生物傳感器測試系統有效
| 申請號： | 201110360219.9 | 申請日： | 2011-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN103105378A | 公開（公告）日： | 2013-05-15 |
| 發明（設計）人： | 史麗娜;李海亮;杜宇禪;牛潔斌;朱效立;李冬梅;謝常青;劉明 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01N21/55 | 分類號： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯長明;王寶筠 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 生物 傳感器 及其 制造 方法 測試 系統 | ||
1.一種生物傳感器，其特征在于，包括：
透光襯底；
透光襯底上的支撐柱陣列，所述支撐柱陣列包括多個支撐柱，每個支撐柱上表面形成有金屬層。
2.根據權利要求1所述的生物傳感器，其特征在于，所述金屬層為金、銀或鋁。
3.根據權利要求1所述的生物傳感器，其特征在于，所述金屬層的寬度或直徑為50-150納米。
4.根據權利要求1所述的生物傳感器，其特征在于，所述金屬層的厚度為50-150納米。
5.根據權利要求1所述的生物傳感器，其特征在于，所述支撐柱與襯底為相同的材料，所述襯底為二氧化硅、碳化硅或氮化硅。
6.根據權利要求1所述的生物傳感器，其特征在于，所述支撐柱陣列至少為兩列，每列至少包括兩個支撐柱，支撐柱之間的間隔相等。
7.根據權利要求6所述的生物傳感器，其特征在于，支撐柱上的金屬層之間的間隔為150-750納米。
8.一種生物傳感器的制造方法，其特征在于，包括：
提供透光襯底；
在所述透光襯底上形成包括多個支撐柱的支撐柱陣列，以及在所述支撐柱上表面形成金屬層。
9.根據權利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述支撐柱陣列通過刻蝕所述透光襯底形成。
10.根據權利要求8所述的制造方法，其特征在于，在提供透光襯底之后，形成支撐柱陣列之前，還包括步驟：在所述透光襯底上形成材料層；
在所述透光襯底上形成包括多個支撐柱的支撐柱陣列的步驟為：通過刻蝕所述材料層，在所述透光襯底上形成包括多個支撐柱的支撐柱陣列。
11.根據權利要求8-10中任一項所述的制造方法，其特征在于，所述金屬層的寬度或直徑為50-150納米，支撐柱上的金屬層之間的間隔為150-750納米。
12.一種生物傳感器測試系統，包括如權利要求1-7中任一項所述生物傳感器，還包括：所述生物傳感器的金屬層上及支撐柱之間的待測生物體，位于待測生物體之上的光源，以及位于襯底之下的光譜儀。
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