[發明專利]一種電流傳感器、阻抗匹配器以及等離子體加工設備

無效

• 申請號: 201110358825.7
• 申請日: 2011-11-14
• 公開（公告）號: CN103105515A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 張文雯
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G01R19/00
• 分類號: G01R19/00;H05H1/46
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 張天舒;陳源

1.一種電流傳感器，包括線圈骨架、纏繞在所述線圈骨架上的線圈以及控制單元，所述線圈包括線圈輸入端和線圈輸出端，其特征在于，在所述線圈輸入端和所述線圈輸出端之間設有n個抽頭，所述抽頭將所述線圈分成n+1段匝數不同的子線圈，所述控制單元在n個所述抽頭、所述線圈輸入端和所述線圈輸出端中任意選擇兩個分別作為傳感器信號端或接地端，其中，n為大于0的正整數。

2.根據權利要求1所述的電流傳感器，其特征在于，所述控制單元為選擇開關，其包括選擇開關控制子單元、第一開關以及第二開關，所述第一開關根據所述選擇開關控制子單元的選擇信號選擇性地將n個所述抽頭、所述線圈輸入端和所述線圈輸出端中的任意一個作為傳感器信號端；所述第二開關根據所述選擇開關控制子單元的選擇信號選擇性地將所述抽頭、所述線圈輸入端和所述線圈輸出端中的任意一個接地。

3.根據權利要求2所述的電流傳感器，其特征在于，所述選擇開關控制子單元為DSP控制器或繼電器。

4.根據權利要求1所述的電流傳感器，其特征在于，所述線圈骨架利用磁性材料制作或利用非磁性材料制作。

5.根據權利要求4所述的電流傳感器，其特征在于，所述磁性材料包括鐵、鎳基合金或稀土合金。

6.根據權利要求4所述的電流傳感器，其特征在于，所述非磁性材料包括聚四氟乙烯或聚醚醚酮。

7.一種阻抗匹配器，包括電流傳感器、控制系統、執行單元以及驅動所述執行單元的動力源，其中，所述電流傳感器用以檢測射頻傳輸線上的電流，并向所述控制系統提供電流信號，其特征在于，所述電流傳感器采用權利要求1-6中任意一項所述的電流傳感器。

8.根據權利要求7所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述動力源為步進電機或伺服電機。

9.一種等離子體加工設備，包括反應腔室、射頻電源以及設置在所述射頻電源與反應腔室之間的阻抗匹配器，所述阻抗匹配器用以使負載阻抗與射頻電源的恒定輸出阻抗相匹配，其特征在于，所述阻抗匹配器采用權利要求7-8中任意一項所述的阻抗匹配器。