[發明專利]表面感測設備

有效

• 申請號: 201110358458.0
• 申請日: 2007-08-31
• 公開（公告）號: CN102564306A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 戴維·斯文·瓦利亞塞;彼得·海杜基威茲;若弗雷·麥克法蘭
• 申請（專利權）人: 瑞尼斯豪公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京明和龍知識產權代理有限公司 11281
• 代理人: 郁玉成

1.一種用于測量工件表面的裝置，包括：

支撐件；

將所述支撐件連接到機器的可移動臂上的連接部件；

用于感測工件表面的單向探頭或表面拋光探頭；

所述支撐件具有第一構件和第二構件，第一構件被第一馬達促動可以圍繞第一旋轉軸線相對于所述連接部件旋轉，第二構件被第二馬達促動可以圍繞第二旋轉軸線相對于所述第一構件旋轉，其中所述第二旋轉軸線橫穿所述第一旋轉軸線，且所述單向探頭或表面拋光探頭可以連接到所述第二構件從而與其一起旋轉；

其中設置一旋轉部件，用于允許所述單向探頭或表面拋光探頭圍繞第三旋轉軸線相對于所述支撐件旋轉；

其特征在于，所述單向探頭或表面拋光探頭在橫穿第三旋轉軸線的方向上感測表面。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述支撐件的所述第一旋轉軸線和第二旋轉軸線正交。

3.如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述單向探頭或表面拋光探頭圍繞其旋轉的所述第三旋轉軸線與所述支撐件的所述第二旋轉軸線相交。

4.如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述單向探頭或表面拋光探頭圍繞其旋轉的所述第三旋轉軸線是所述單向探頭或表面拋光探頭的基本上縱向的軸線。

5.如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述單向探頭或表面拋光探頭是接觸式探頭。

6.如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述單向探頭或表面拋光探頭是非接觸式探頭。

7.如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述單向探頭或表面拋光探頭包括探頭主體、觸針和觸針末梢。

8.如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述旋轉部件允許所述單向探頭或表面拋光探頭旋轉至多360度并包括360度。

9.如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述旋轉部件允許所述單向探頭或表面拋光探頭旋轉大于360度，或連續旋轉。

10.如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述旋轉部件是馬達。

11.如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述單向探頭是激光光斑探頭和激光線探頭的至少其中之一。

12.如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述表面拋光探頭是單向探頭。

13.一種使用測量工件表面的裝置的方法，所述裝置包括：支撐件；將所述支撐件連接到機器的可移動臂上的連接部件；感測工件表面的單向探頭或表面拋光探頭，所述支撐件具有第一構件和第二構件，第一構件被第一馬達促動可以圍繞第一旋轉軸線相對于所述連接部件旋轉，第二構件被第二馬達促動可以圍繞第二旋轉軸線相對于所述第一構件旋轉，其中所述第二旋轉軸線橫穿所述第一旋轉軸線，且所述單向探頭或表面拋光探頭可以連接到所述第二構件從而與其一起旋轉；

允許所述單向探頭或表面拋光探頭圍繞第三旋轉軸線相對于所述支撐件旋轉的旋轉部件，

其中所述單向探頭或表面拋光探頭在橫穿第三旋轉軸線的方向上感測表面，

其特征在于，所述方法包括以下步驟：

旋轉所述旋轉部件以便相對于所述支撐件確定所述單向探頭或表面拋光探頭的方位。

14.如權利要求13所述的方法，其特征在于，所述表面拋光探頭是單向探頭。

15.如權利要求13或14所述的方法，其特征在于，所述方法進一步包括步驟：

沿著所述工件的所述表面驅動所述表面拋光探頭或所述單向探頭；和

收集有關所述工件的所述表面的信息。

16.如權利要求15所述的方法，其特征在于，包括掃描工件。