[發明專利]用于檢測玻璃襯底的表面缺陷的設備和方法

有效

• 申請號: 201110358433.0
• 申請日: 2011-11-11
• 公開（公告）號: CN102954970A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 黃圭弘;金泰皓;鄭址和;權載勛;馬克·肯曼;瑪寇·瓦泰爾;艾瑞克·路赫斯;安捷斯·博克
• 申請（專利權）人: 三星康寧精密素材株式會社;寶斯拉視覺技術股份有限公司
• 主分類號: G01N21/896
• 分類號: G01N21/896;H05B37/02
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

技術領域

本發明涉及一種用于檢測玻璃襯底的表面缺陷的設備和方法，且更特定來說，涉及一種用于檢測玻璃襯底的表面缺陷的設備及其方法，其中經由兩個照相裝置和表面缺陷的A/B表面根據相應圖像中顯示的表面缺陷的長度的差異而獲得兩個圖像。

背景技術

平板顯示器中所使用的玻璃襯底僅在其在玻璃工業中稱為“表面A”的一個表面上沉積有微型電路圖案(micro?circuit?pattern)，且在其在玻璃工業中稱為“表面B”的另一表面上未沉積微型電路圖案。

當玻璃襯底的表面A上存在缺陷時，如果微型電路圖案沉積在所述缺陷上，那么微型電路圖案的有缺陷的比例可能增加。因此，有必要在沉積微型電路圖案之前精確地檢測玻璃襯底(特定來說，上面將沉積微型電路圖案的表面A)上是否存在缺陷。為了參考，下文使用的術語“缺陷”是指各種類型的表面缺陷，例如劃痕(scratches)的產生、污垢粘附(dirt?adhering)、表面隆起(surface?protrusion)、泡沫產生等。

對于用于檢測透明板狀主體上的缺陷的檢查裝置，廣泛采用BF(明場(Bright?Field))光學系統(optical?system)和DF(暗場(Dark?Field))光學系統。本發明是關于用于使用DF(暗場)光學系統來檢測玻璃襯底的表面缺陷的設備和方法。

暗場光學系統將簡要描述如下。圖1顯示用于檢測透明板狀主體上存在的缺陷的暗場光學系統。參看圖1，在暗場光學系統中，傳感器相機(sensor?camera)5安置在透明板狀主體1的頂部表面上，且光源6安置在透明板狀主體1的底部表面上，借此通過使用透射光而非反射光來拍攝圖像。換句話說，暗場光學系統通過收集透射光束(transmitted?light?beams)7中的暗場分量來檢測透明板狀主體1上存在的例如雜質、劃痕等缺陷4。

暗場光學系統具有比明場光學系統高的測試功率，使得暗場光學系統可精確且靈敏地檢測透明板狀主體的表面缺陷。然而，暗場光學系統在關于表面缺陷相對于表面A/B的位置的信息方面具有限制，因為用于表面A上存在的缺陷與表面B上存在的缺陷的信號幾乎無任何差異。

同時，平板顯示器中所使用的玻璃襯底在表面A和B各別所需的質量方面具有巨大差異。舉例來說，表面A對隆起缺陷和劃痕缺陷非常敏感，進而需要高質量規格。相反，表面B不敏感，從而需要低質量規格。

當在玻璃襯底工藝中轉移襯底時，使表面B與轉移構件接觸，使得可在表面B上產生細微劃痕且致使雜質粘附到表面B。然而，此類缺陷在表面B上是可容許的。

如果在表面A上產生此類缺陷，那么將對應的玻璃襯底分類為“NG”且不允許其在平板顯示器的制造中使用。因此，使用具有高測試功率的暗場光學系統并進行表面缺陷檢查是有利的。同時，暗場光學系統具有不能將表面A/B彼此辨別的缺點。因此，暗場光學系統檢測缺陷的存在(不包含關于具有所產生的污染的表面A/B的信息)，并將簡單檢測結果提供給檢查者，使得可完全依賴于檢查者的手工工作來辨別“缺陷對應于哪一表面”。

因此，盡管特定玻璃襯底具有對于平板顯示器的制造是適當的擁有良好質量的表面A和擁有可容許的細微劃痕的表面B，但暗場光學系統將玻璃襯底辨認為具有表面缺陷且將缺陷圖像提供給檢查者，使得檢查者必須辨別缺陷圖像對應于表面A/B中的哪一表面。因此，進一步需要手工辨別的額外步驟，從而減小工藝生產量和可加工性。另外，表面A上間歇地產生的細微劃痕被錯誤地確定為對應于表面B，從而導致在大規模生產中使用不適當的玻璃襯底的問題。

發明內容

因此，已努力作成本發明以解決相關技術中出現的問題，且本發明的目的是提供一種用于檢測玻璃襯底的表面缺陷的設備和方法，其中可取得暗場光學系統的高測試功率的優點以及A/B表面辨別功能，使得針對表面缺陷來辨別表面A/B所需的循環時間得以縮短，且檢查者僅必須檢查具有高NG可能性的表面缺陷，進而使檢查配合度(inspection?engagement)達到最大化。