[發明專利]一種真空泵密封結構

有效

• 申請號: 201110358078.7
• 申請日: 2011-11-11
• 公開（公告）號: CN103104437A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 張振厚;王光玉;劉在行
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: F04B39/00
• 分類號: F04B39/00;F04B39/16
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術領域

本發明涉及真空泵技術領域，具體說涉及一種真空泵密封結構。

背景技術

干式機械真空泵(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。伴隨半導體行業、化學工業、薄膜產業迅速發展，國內外干式機械真空泵市場不斷增長，由于這些行業的發展又對真空環境要求越來越嚴格，也就對真空泵提出了更高的要求，一個是極限真空度要盡量高，另一個是獲得的真空環境應該是清潔無油的。在這些新工藝新要求下，對干式機械真空泵的軸封提出了更高的要求，普通干式機械真空泵會通過軸封向真空泵腔體內返油蒸汽，這個問題亟待解決。

發明內容

為了解決現有技術中的真空泵返油，密封效果差的問題，本發明的目的在于提供一種真空泵密封結構，本發明密封效果好，解決了向泵腔返油的問題。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案。

一種真空泵密封結構，包括依次貫穿油腔軸承腔及泵腔的軸，還包括雙唇軸封、過濾裝置及油氣分離裝置，所述軸在軸承腔與油腔的部分沿軸向設有盲孔，所述過濾裝置設置在該盲孔的靠近油腔的一端，所述軸的軸承腔段沿徑向設有與所述盲孔連通的通孔；所述雙唇軸封位于軸承腔的軸承座內，雙唇軸封的兩密封片中間圓周方向設有通氣孔，與雙唇軸封所述軸的盲孔相連通；所述油氣分離裝置位于軸承腔的上部，軸承腔的腔體內設有氣孔一和氣孔二，所述氣孔一的一端與油氣分離裝置的上部連通，另一端與雙唇軸封上的通氣孔連通；所述氣孔二的一端與油氣分離裝置的底部連通，另一端與泵腔連通。

所述雙唇軸封與軸之間設有軸封環，該軸封環上設有通孔，該通孔兩端分別與雙唇軸封上的通氣孔和所述軸上的徑向通孔連通。

所述軸承環與所述軸之間采用矩形氟橡膠圈密封。

所述過濾裝置包括軸端固定螺母、擋片及過濾墊片，其中軸端固定螺母內設有凹槽，所述擋片及過濾墊片置于該凹槽內。

所述油氣分離裝置包括連通器和油分濾芯。

所述連通器與軸承腔體之間采用O型氟膠圈密封。

所述雙唇軸封采用特氟隆類材料。

所述軸承腔內的雙唇軸封與軸承之間設有軸套。

所述軸套與軸承座凹槽之間的間隙小于0.15毫米。

所述軸套與所述軸之間采用矩形氟橡膠圈密封。

本發明具有以下優點：

1.本發明軸封采用雙唇軸封，雙唇軸封采用特氟隆類材料制作，減少了摩擦系數、更耐磨、使用壽命高，密封效果好。

2.本發明雙唇軸封過盈安裝在軸承座內，軸封雙唇中間周向開有通氣孔，與固定螺母、軸、軸封環、軸承腔形成連通油腔和泵腔的氣道，從而平衡兩腔壓力，防止由于壓力差油蒸汽通過軸封向泵腔滲漏，并防止產生夾氣。

3.本發明在油腔的固定螺母內設置過濾墊，軸承腔設置油氣分離裝置，保證從油腔流向泵腔的氣體是無油的氣體。

4.本發明軸封環、軸套與軸采用矩形氟橡膠圈密封，軸套與軸承座凹槽間隙小于0.15毫米，形成間隙密封，減少油蒸汽軸向通過到達軸封的數量。

5.本發明采用油氣分離裝置，該裝置由油分濾芯和聯通器組成，保證流過氣體清潔無油，油氣分離裝置與外界和泵腔采用形氟橡膠圈密封。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為油氣分離裝置示意圖；

其中：1為固定螺母，2為擋片，3為過濾墊，4為油腔，5、為矩形氟膠圈，6為軸套，7為軸承腔，8為軸封環，9為雙唇軸封，10為O型氟膠圈，11為聯通器，12為油分濾芯，13為氣孔一，14為氣孔二。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明做進一步描述。

如圖1、圖2所示，本發明包括依次貫穿油腔4、軸承腔7及泵腔的軸、雙唇軸封9、過濾裝置及油氣分離裝置，所述軸在軸承腔7與油腔4的部分沿軸向設有盲孔，所述過濾裝置設置在該盲孔的靠近油腔4的一端，所述軸的軸承腔段沿徑向設有與所述盲孔連通的通孔；雙唇軸封9過盈安裝在軸承腔7的軸承座內，并設置在所述軸的徑向通孔處，雙唇軸封9的兩密封片中間圓周方向設有通氣孔，與雙唇軸封9所述軸的盲孔相連通；所述油氣分離裝置位于軸承腔7的上部，軸承腔7的腔體內設有氣孔一13和氣孔二14，氣孔一13的一端與油氣分離裝置的上部連通，另一端與雙唇軸封9上的通氣孔連通；所述氣孔二14的一端與油氣分離裝置的底部連通，另一端與泵腔連通。