[發明專利]一種渦旋真空泵排氣口結構

無效

• 申請號: 201110357954.4
• 申請日: 2011-11-11
• 公開（公告）號: CN103104498A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 雷震霖;王光玉;劉在行
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: F04C29/12
• 分類號: F04C29/12;F04C25/02
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術領域

本發明屬于真空泵領域，具體地說是一種渦旋真空泵排氣口結構。

背景技術

目前，國內對無油真空環境要求越來越多，半導體、LED等行業迅速發展，渦旋真空泵作為一種無油真空泵也得到迅速發展。

現有渦旋真空泵在排氣時噪音較大，排氣口密封差，已無法滿足行業迅速發展的要求。

發明內容

為了解決排氣噪音大、排氣口密封效果差的問題，本發明的目的在于提供一種渦旋真空泵排氣口結構。該渦旋真空泵排氣口結構排氣噪音低，氣流脈動沖擊小，密封效果好。

本發明的目的是通過以下技術方案來實現的：

本發明包括排氣適配器、閥擋、彈簧及橡膠閥芯，其中排氣適配器與真空泵密封螺紋連接，閥擋及橡膠閥芯分別安裝在排氣適配器內的上下兩端，所述橡膠閥芯的一端位于排氣適配器上排氣口的頂部，另一端設有彈簧，該彈簧的頂端與閥擋抵接；在閥擋上方的排氣適配器內設有固定閥擋及橡膠閥芯的孔用彈簧擋圈。

其中：所述排氣適配器內沿軸向設有內徑不同的孔，排氣口位于最下端，所述排氣適配器內與橡膠閥芯接觸的面為弧面，該弧面位于排氣口的頂部；所述孔用彈簧擋圈、閥擋及橡膠閥芯分別通過排氣適配器內壁上的止口定位；所述閥擋由圓盤及其下方的第一錐臺組成，在圓盤上周向均布有多個供排氣的通孔；所述彈簧的頂端套在第一錐臺上、并抵接于圓盤的底面；所述通孔在圓盤徑向截面的投影為弧形；所述橡膠閥芯由圓柱及其下方的第二錐臺組成，所述彈簧的底端套在第二錐臺上、并抵接于圓柱的一面，圓柱的另一面為與排氣適配器接觸的球面；所述圓柱的外表面周向均布有多個起導向作用的導向塊。

本發明的優點與積極效果為：

本發明的排氣適配器與真空泵密封螺紋連接，密封性好；利用彈簧使被氣體沖開的橡膠閥芯復位，橡膠閥芯采用球面和橡膠材料，與排氣適配器完全吻合，減少排氣振動和噪聲音，密封效果好。

附圖說明

圖1為本發明的內部結構示意圖；

圖2為圖1中排氣適配器的結構剖視圖；

圖3為圖1中閥擋的主視圖；

圖4為圖3的俯視圖；

圖5為圖1中橡膠閥芯的主視圖；

圖6為圖5的俯視圖；

其中：1為排氣適配器，2為孔用彈簧擋圈，3為閥擋，4為彈簧，5為橡膠閥芯，6為通孔，7為排氣口，8為圓盤，9為第一錐臺，10為圓柱，11為第二錐臺，12為導向塊。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步詳述。

如圖1所示，本發明包括排氣適配器1、孔用彈簧擋圈2、閥擋3、彈簧4及橡膠閥芯5，其中排氣適配器1的下端與真空泵密封螺紋連接，密封性好；閥擋3及橡膠閥芯5分別安裝在排氣適配器1內的上下兩端，所述橡膠閥芯5的一端位于排氣適配器1上排氣口7的頂部，另一端設有彈簧4，該彈簧4的頂端與閥擋3抵接；在閥擋3上方的排氣適配器1內設有固定閥擋3及橡膠閥芯5的孔用彈簧擋圈2。

如圖2所示，排氣適配器1下端外表面設有外螺紋，與真空泵密封螺紋連接；排氣適配器1內沿軸向設有內徑不同的孔，在孔徑改變處形成定位止口，孔用彈簧擋圈2、閥擋3及橡膠閥芯5分別通過排氣適配器1內壁上的止口定位；排氣口7位于排氣適配器1內孔的最下端、孔徑也最小；所述排氣適配器1內與橡膠閥芯5接觸的面為弧面，該弧面位于排氣口7的頂部。

如圖3、圖4所示，閥擋3由圓盤9及其下方的第一錐臺9組成，在圓盤8上沿軸向開有多個供排氣的通孔6(本實施例為三個)，多個通孔6周向均布，通孔6在圓盤8徑向截面的投影為弧形；第一錐臺9直徑較大的一端在上，直徑較小的一端在下，方便與彈簧4連接；所述彈簧4的頂端套在第一錐臺9上、并抵接于圓盤8的底面。

如圖5、圖6所示，橡膠閥芯5由圓柱10及其下方的第二錐臺11組成，橡膠閥芯5倒置在排氣適配器1內，即第二錐臺11在上、圓柱10在下；其中第二錐臺11直徑較小的一端在上，直徑較大的一端在下，方便與彈簧4連接；所述彈簧4的底端套在第二錐臺11上、并抵接于圓柱10的一面，圓柱10的另一面為與排氣適配器1接觸的球面。在圓柱10的外表面周向均布有多個起導向作用的導向塊12。

本發明的工件原理為：

不排氣時，橡膠閥芯5中圓柱10的球面抵接在排氣適配器1內，將排氣口7堵住。當渦旋真空泵的排氣氣流經過排氣口7時，沖開橡膠閥芯5排氣，彈簧4壓縮，氣體進入排氣適配器內部、由閥擋3上的通孔6排出。當排氣完畢后，利用彈簧4的彈力使橡膠閥芯5復位，橡膠閥芯5上的球面與排氣適配器的弧面貼合密封，并減少反流。由于橡膠閥芯5采用球面以及采用橡膠材料與排氣適配器1完全吻合，減少排氣振動和噪音。