[發明專利]一種全自動下傳輸系統

有效

• 申請號: 201110357788.8
• 申請日: 2011-11-11
• 公開（公告）號: CN103103495A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 雷震霖;趙崇凌;李士軍;張健;張冬;洪克超;徐寶利;鐘福強;陸濤;許新;王剛;劉興;郭玉飛;王學敏;李松
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術領域

本發明屬于PECVD的傳輸系統領域，具體地說是一種全自動下傳輸系統。

背景技術

隨著經濟建設的快速發展，微電子技術得到了迅猛地發展，PECVD等離子體處理設備的開發和使用也日益廣泛。PECVD即為等離子體增強化學氣相沉積法，在化學氣相沉積時，為了使化學反應能在較低的溫度下進行，可以利用了等離子體的活性來促進反應，這種化學氣相沉積方法稱為等離子體增強化學氣相沉積法，實施該種加工方法的設備為PECVD設備。

目前我們的電池生產線PECVD的傳輸系統包括裝載臺、升降傳輸、下傳輸線、卸載臺，其中所述下傳輸線由總控制電源開關、電機、光電傳感器以及型材等構成，而傳統下傳輸多為8個傳輸工位連接的方式，該傳輸系統通常具有8組對射傳感器、8個電機，當碳板在該下傳輸上傳輸時，存在成本高、穩定性差等缺點。

發明內容

針對上述問題，本發明的目的在于提供一種全自動下傳輸系統，該全自動下傳輸系統具有成本低、可靠性高等特點。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種全自動下傳輸系統，包括裝載臺、升降傳輸、下傳輸系統、卸載臺，所述下傳輸系統包括4個傳輸工位、固態繼電器及PLC，其中每個傳輸工位均由電機、傳感器以及傳輸型材組成，所述電機與傳感器設置在傳輸型材上；所述PLC與傳感器及固態繼電器電連接，固態繼電器與所述電機電連接。

所述電機為單相電機。

所述傳感器為對射傳感器。

所述對射傳感器為兩個，分別為發射器和接收器。

本發明具有以下的優點：

本發明在由4個傳輸工位構成的下傳輸系統上傳輸碳板，避免了在8個傳輸工位構成的傳輸系統傳輸不穩等缺點，可以降低碎片率，并且由于減少了設備元件，可以降低成本。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為本發明的每個傳輸工位的結構示意圖；

其中：1為對射傳感器，2為傳輸型材，3為單相電機，4為傳輸工位I，5為傳輸工位II，6為傳輸工位III，7為傳輸工位IV。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步描述。

如圖1、圖2所示，本發明包括裝載臺、升降傳輸、下傳輸系統、卸載臺，所述下傳輸系統包括傳輸工位I4、傳輸工位II5、傳輸工位III6、傳輸工位IV7等4個傳輸工位、固態繼電器及PLC，其中每個傳輸工位均由1個單相電機3、兩對對射傳感器1以及傳輸型材2組成，單相電機3與兩對對射傳感器1均設置在傳輸型材2上，兩對對射傳感器分別為發射器和接收器；所述PLC與固態繼電器電連接，使用PLC控制固態繼電器。固態繼電器與單相電機3電連接，控制各單相電機3的啟動或停止。單相電機3控制傳輸工位的運轉。對射傳感器1與PLC連接，對射電傳感器1用來監測碳板位置，為程序控制碳板在傳輸線上合理運動提供判斷信號。

裝載臺、卸載臺完成碳板從下傳輸線到PECVD工作傳輸面的運輸過程。使用伺服驅動器或變頻器來控制裝、卸載臺的升降電機，使用PLC控制各所述伺服驅動器。升降過程無需人工干預，系統自動判斷碳板位置完成升降。

下傳輸系統完成碳板在PECVD設備下部的運輸。運輸過程無需人工干預。系統自動完成傳輸過程。整個下傳輸線最多可容納4塊碳板。總控制電源開關控制系統的整體電源供應。

本發明在由4個傳輸工位構成的下傳輸系統上傳輸碳板，相比于傳統的8傳輸工位組成的下傳輸系統，避免了在8個傳輸工位構成的傳輸系統傳輸不穩等缺點，降低了碎片率。同時節省了4個單項電機、8對對射傳感器，減少設備元件，降低了成本。由自動控制的電機驅動的傳輸系統能方便的將碳板從卸載臺搬運到裝載臺，從卸載臺裝碳板開始至裝載臺運送碳板至最高點，時間≤60秒，該系統具有模塊化設計、設備簡潔、運行穩定和維護時間短等優點。