[發明專利]空間立體式在線搬送系統

無效

• 申請號: 201110357739.4
• 申請日: 2011-11-14
• 公開（公告）號: CN102514939A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 王赟
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G47/90
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 胡海國

1.一種空間立體式在線搬送系統，其特征在于，包括：帶有導軌的天棚，設置在所述天棚底面、用于暫存基板的若干卡匣，位于所述卡匣下方、用于處理基板的若干處理設備，以及用于在所述卡匣與所述處理設備之間搬送基板的空中搬送裝置，所述空中搬送裝置與所述導軌滑動連接。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述空中搬送裝置包括一機械抓取器、一伸縮機構以及控制所述機械抓取器和伸縮機構的控制器；所述機械抓取器具有中心部以及由所述中心部向外延伸的若干帶有手爪的機械手臂；所述機械抓取器通過所述中心部與所述伸縮機構的底端可旋轉連接，所述伸縮機構的頂端與所述天棚的導軌滑動連接。

3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述導軌在所述天棚的底面呈網狀設置。

4.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述伸縮機構為伸縮軸，所述伸縮軸與所述天棚底面垂直。

5.根據權利要求2-4中任一項所述的系統，其特征在于，所述機械抓取器包括四個所述機械手臂，所述四個機械手臂沿所述中心部的邊緣對稱分布，所述處理設備為四個，每個所述處理設備對應一個所述機械手臂。

6.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述處理設備具有供所述機械手臂的手爪拾取基板的開口。

7.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述機械抓取器旋轉角度為±180°。

8.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述控制器為伺服電機控制器。

9.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，還包括風機過濾單元，所述風機過濾單元設置在所述天棚上，且位于所述卡匣旁側。