[發(fā)明專利]基于UV曝光形成取向膜區(qū)域的方法及系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110357645.7 | 申請日: | 2011-11-14 |
| 公開(公告)號: | CN102520551A | 公開(公告)日: | 2012-06-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 宋玉 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市華星光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/1337 | 分類號: | G02F1/1337;G03F7/20 |
| 代理公司: | 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287 | 代理人: | 胡海國 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 基于 uv 曝光 形成 取向 區(qū)域 方法 系統(tǒng) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及液晶顯示裝置的取向膜形成技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種基于UV曝光制作取向膜的方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)
現(xiàn)有的液晶顯示裝置通常包含形成像素電極的TFT(Thin?Film?Transistor,薄膜場效應(yīng)晶體管)基板(下部基板)、形成公用電極的CF(Color?Filter,濾色器)基板(上部基板)以及夾在上述TFT基板和CF基板之間的液晶層。為了使液晶分子以特定的方向排列,在各基板的內(nèi)側(cè)表面分別涂布有一層取向膜,該取向膜可用于限制液晶分子的取向狀態(tài)。
在取向膜涂布的過程中,需要將取向膜覆蓋到基板規(guī)定的區(qū)域。每張基板上劃分為若干個固定尺寸的顯示單元(chip),如圖1所示,圖1是現(xiàn)有的液晶面板設(shè)計(jì)中取向膜區(qū)域在基板中的位置示意圖,基板20上單個固定尺寸的顯示單元上的取向膜區(qū)域(PI?area,Polyimide?area,聚酰亞胺區(qū)域)需要覆蓋有效顯示區(qū)域(圖1中A-A與B-B限定的矩形區(qū)域)30,但不能覆蓋框膠(圖1所示黑色區(qū)域)10的涂布位置。根據(jù)設(shè)計(jì)的取向膜區(qū)域規(guī)則,設(shè)置取向膜列印機(jī)(PI?Inkjet)的取向膜涂布區(qū)域,使取向膜能夠覆蓋設(shè)計(jì)規(guī)則(Design?rule)的區(qū)域。當(dāng)基板20上有效顯示區(qū)域(圖1中A-A與B-B限定的矩形區(qū)域)30涂滿取向膜后,再在框膠10的涂布位置涂布框膠10。也就是說,框膠10的涂布位置通常不允許涂布取向膜。
但是,采用上述方法形成的取向膜區(qū)域,存在以下缺陷:
1、取向膜列印機(jī)在根據(jù)設(shè)計(jì)規(guī)則涂布時,會存在涂布誤差,即印刷偏移,實(shí)際涂布的取向膜區(qū)域有時候不能準(zhǔn)確覆蓋原先設(shè)計(jì)的區(qū)域,甚至存在實(shí)際涂布的取向膜區(qū)域延伸至框膠10的涂布位置;
2、取向膜在形成時,其邊緣會因?yàn)楦鞣N物理和化學(xué)的原因產(chǎn)生鋸齒狀的邊緣不均和膜厚不均現(xiàn)象;而取向膜不均勻?qū)?dǎo)致液晶顯示裝置的圖像質(zhì)量特性降低,目前只能通過修改涂布參數(shù)和干燥參數(shù)來改善上述取向膜邊緣不平整和膜厚不均等狀況,不過這種方式使得取向膜的制作復(fù)雜化。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種基于UV曝光形成取向膜區(qū)域的方法及系統(tǒng),旨在避免現(xiàn)有技術(shù)中在形成取向膜區(qū)域時產(chǎn)生印刷偏移、鋸齒狀邊緣不均及膜厚不均的問題。
為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明提出一種基于紫外光UV曝光形成取向膜區(qū)域的方法,包括以下步驟:
在基板上涂布PI液并形成取向膜,所述取向膜覆蓋所述基板上預(yù)設(shè)的取向膜區(qū)域;
將根據(jù)所述預(yù)設(shè)的取向膜區(qū)域制作的掩膜板設(shè)置于所述取向膜上方,使所述掩膜板遮蔽所述預(yù)設(shè)的取向膜區(qū)域;
通過UV光曝光剝離所述基板上位于所述預(yù)設(shè)的取向膜區(qū)域以外的取向膜;
撤去所述掩膜板,在所述預(yù)設(shè)的取向膜區(qū)域留下取向膜。
優(yōu)選地,所述在基板上涂布PI液形成取向膜的步驟包括:
通過取向膜列印機(jī)在基板上涂布PI液,使所述PI液覆蓋所述基板上的所述預(yù)設(shè)的取向膜區(qū)域;
對所述基板上的PI液進(jìn)行預(yù)烘烤、檢查和本硬化處理,形成取向膜。
優(yōu)選地,所述PI液為聚酰亞胺,以及DMA、NMP或BC溶劑。
優(yōu)選地,所述掩模板與所述基板的距離小于或等于50um。
優(yōu)選地,所述UV光波長為146nm~365nm。
優(yōu)選地,所述基板為TFT基板和/或CF基板。
本發(fā)明還提出一種基于UV曝光形成取向膜區(qū)域的系統(tǒng),包括:
涂布處理裝置,用于在基板上涂布PI液并形成取向膜;
掩膜板設(shè)置裝置,用于將預(yù)先制作的掩膜板設(shè)置于所述基板上方,使所述掩膜板遮蔽所述預(yù)設(shè)的取向膜區(qū)域;
UV光曝光裝置,用于對覆蓋有所述掩膜板的整個基板照射UV光,使所述基板上位于所述預(yù)設(shè)的取向膜區(qū)域以外的取向膜剝離。
優(yōu)選地,所述涂布處理裝置包括:在基板上涂布PI液的取向膜列印機(jī)以及對所述基板上的PI液進(jìn)行預(yù)烘烤、檢查及本硬化處理形成取向膜的取向膜處理設(shè)備。
優(yōu)選地,所述掩模板與所述基板的距離小于或等于50um;所述UV光波長為146nm~365nm。
優(yōu)選地,所述基板為TFT基板和/或CF基板。
本發(fā)明提出的一種基于UV曝光形成取向膜區(qū)域的方法及系統(tǒng),可以有效改善現(xiàn)有的取向膜列印機(jī)根據(jù)設(shè)計(jì)的取向膜區(qū)域規(guī)則涂布取向膜,在形成取向膜區(qū)域時產(chǎn)生印刷偏移、鋸齒狀的邊緣不均以及膜厚不均等缺陷,提高了取向膜區(qū)域的定位精度以及取向膜的質(zhì)量,進(jìn)而提高液晶顯示裝置的圖像質(zhì)量特性。
附圖說明
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G02F1-00 控制來自獨(dú)立光源的光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置,例如,轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制;非線性光學(xué)
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G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制,即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學(xué)
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的





