[發(fā)明專利]一種獲取磁懸浮分子泵轉(zhuǎn)子徑向懸浮中心的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110356881.7
• 申請(qǐng)日: 2011-11-11
• 公開（公告）號(hào): CN102425555A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張剴;武涵;李奇志;張小章;鄒蒙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司;清華大學(xué)
• 主分類號(hào): F04D27/00
• 分類號(hào): F04D27/00;F04D19/04
• 代理公司: 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 劉守憲

1.一種獲取磁懸浮分子泵轉(zhuǎn)子徑向懸浮中心的方法，其特征在于，包括如下步驟：

A.獲取轉(zhuǎn)子第一徑向懸浮中心，包括如下步驟

①在第一徑向磁軸承裝入所述磁懸浮分子泵之前，將所述第一徑向磁軸承的X正向磁極對(duì)線圈和X負(fù)向磁極對(duì)線圈串聯(lián)形成X方向磁極對(duì)線圈組，二者之間設(shè)為所述第一徑向磁軸承的X向檢測(cè)信號(hào)輸出端；將第一徑向磁軸承的Y正向磁極對(duì)線圈和Y負(fù)向磁極對(duì)線圈串聯(lián)形成Y方向磁極對(duì)線圈組，二者間設(shè)為所述第一徑向磁軸承的Y向檢測(cè)信號(hào)輸出端；

②將第一徑向磁軸承定子固定于標(biāo)定臺(tái)架上，并將轉(zhuǎn)子插入第一徑向磁軸承定子內(nèi)圓中，以第一徑向磁軸承定子內(nèi)圓中心為坐標(biāo)原點(diǎn)建立徑向磁軸承坐標(biāo)系；

將所述第一徑向磁軸承的X向磁極對(duì)線圈組和Y向磁極對(duì)線圈組分別連接于正弦激勵(lì)信號(hào)S與地信號(hào)之間；

將所述第一徑向磁軸承的X向電壓信號(hào)輸出端與X向解調(diào)電路連接，所述X向解調(diào)電路的輸出端輸出X向檢測(cè)電壓信號(hào)V_x；

將所述第一徑向磁軸承的Y向電壓信號(hào)輸出端與Y向解調(diào)電路連接，所述Y向解調(diào)電路的輸出端輸出Y向檢測(cè)電壓信號(hào)V_y；

V_x和V_y均為直流電壓信號(hào)，利用所述第一徑向磁軸承的X方向磁極對(duì)線圈組得到第一徑向磁軸承坐標(biāo)系下所述第一徑向磁軸承的X向檢測(cè)電壓信號(hào)與轉(zhuǎn)子X方向位移的數(shù)據(jù)關(guān)系V_x＝f(x)；利用所述第一徑向磁軸承的Y向磁極對(duì)線圈組得到第一徑向磁軸承坐標(biāo)系下所述第一徑向磁軸承的Y向檢測(cè)電壓信號(hào)與轉(zhuǎn)子Y方向位移的數(shù)據(jù)關(guān)系V_y＝f(y)；

③將所述第一徑向磁軸承裝入所述磁懸浮分子泵，使所述第一徑向磁軸承的X向磁極對(duì)線圈組和Y向磁極對(duì)線圈組仍連接于正弦激勵(lì)信號(hào)S與地信號(hào)之間；所述第一徑向磁軸承的所述X向檢測(cè)信號(hào)輸出端仍與所述X向解調(diào)電路連接；所述第一徑向磁軸承的所述Y向檢測(cè)信號(hào)輸出端仍與所述Y向解調(diào)電路連接；

④得到轉(zhuǎn)子位于所述第一徑向保護(hù)軸承定子內(nèi)圓中心時(shí)，所述X向解調(diào)電路輸出的X向檢測(cè)電壓信號(hào)V_x1和所述Y向解調(diào)電路輸出的Y向檢測(cè)電壓信號(hào)V_y1；

由V_x1和V_x＝f(x)獲得所述第一徑向保護(hù)軸承定子內(nèi)圓中心在第一徑向磁軸承坐標(biāo)系下的X方向坐標(biāo)X′_b0；由V_y1和V_y＝f(y)獲得所述第一徑向保護(hù)軸承定子內(nèi)圓中心在第一徑向磁軸承坐標(biāo)系下的Y方向坐標(biāo)Y′_b0；即得到在第一徑向磁軸承坐標(biāo)系下，所述第一徑向保護(hù)軸承定子內(nèi)圓中心坐標(biāo)(X′_b0，Y′_b0)；

由此得到所述第一徑向磁軸承與第一所述徑向保護(hù)軸承在X、Y方向的同軸度偏差分別為ΔX₀＝-X′_b0和ΔY₀＝-Y′_b0；

⑤以第一徑向位移傳感器定子內(nèi)圓中心為坐標(biāo)原點(diǎn)建立第一徑向位移傳感器坐標(biāo)系并獲得在第一徑向位移傳感器坐標(biāo)系下，所述第一徑向保護(hù)軸承定子內(nèi)圓中心坐標(biāo)(X_b0，Y_b0)；

⑥最終得到在第一徑向位移傳感器坐標(biāo)系下，所述第一徑向磁軸承定子內(nèi)圓中心坐標(biāo)為(X_b0-X′_b0，X_b0-Y′_b0)，此即為磁懸浮分子泵轉(zhuǎn)子的第一徑向懸浮中心；

B.用與步驟A所述獲取轉(zhuǎn)子第一徑向懸浮中心相同的方法獲取轉(zhuǎn)子第二徑向懸浮中心。