[發明專利]混合式有機光電二極管

有效

• 申請號: 201110356837.6
• 申請日: 2011-11-11
• 公開（公告）號: CN102468441A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發明（設計）人: O.希登;T.勞克;R.F.舒爾茲;M.斯拉梅克;S.F.泰德
• 申請（專利權）人: 西門子公司
• 主分類號: H01L51/42
• 分類號: H01L51/42;H01L51/46;H01L51/44
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 謝強

1.一種用于成像和/或劑量率測量的X射線探測器，包括在第一電極(5)與基底(1)之間的混合式光敏層，其中，該混合式光敏層具有體相異質結和多個閃爍體，并且被構造為如下地進行間接X射線轉換：所述體相異質結被構造為吸收在所述閃爍體的閃爍射線波長范圍內的光并形成電子-空穴對，其中，所述X射線探測器構造為電地探測所述電子-空穴對。

2.按照權利要求1所述的X射線探測器，其中，所述體相異質結包括可溶的并且能夠通過噴霧過程沉積的有機半導體材料。

3.按照權利要求1或2所述的X射線探測器，其中，所述閃爍體占體積百分比份額在混合式光敏層的10％體積比與70％體積比之間。

4.按照權利要求1至3之一所述的X射線探測器，其中，所述混合式光敏層具有均勻的層厚，并且該層厚在0.5μm與500μm之間。

5.按照權利要求1至4之一所述的X射線探測器包括一個ALD層，其中，所述ALD層是第二電極(3)。

6.按照權利要求1至5之一所述的X射線探測器，其中，ALD層被設置在所述閃爍體(2)與所述體相異質結(4)之間。

7.按照權利要求1至6之一所述的X射線探測器包括一個ALD層，其中，ALD層至少部分地透過在要探測的X射線波長范圍內的電磁射線，或者至少部分地透過在所述閃爍體的閃爍射線波長范圍內的光。

8.一種包括X射線儀的裝置，其中，該X射線儀具有傳感器，其中，該傳感器是一種用于檢驗所使用的X射線劑量的三區或五區傳感器，其中，所述三區或五區傳感器具有按照權利要求1至7之一所述的X射線探測器。

9.一種包括X射線儀的裝置，其中，X射線儀具有傳感器，其中該傳感器具有多個按照權利要求1至7之一所述的X射線探測器，并且它們被按照二維的矩陣結構安置。

10.按照權利要求8或9所述的裝置，其中，所述傳感器具有用于曝光量自動控制單元的標準尺寸43x43cm²。

11.一種制造X射線探測器(73，74)的方法，其中，將多個閃爍體(2)和一個體相異質結(4)沉積在基底(1)上，其中，由溶液(40)通過噴霧過程來沉積所述體相異質結(4)。

12.按照權利要求11所述的方法，其中，由懸浮液(20)通過噴霧過程來沉積所述閃爍體(2)，其中，尤其通過共噴霧過程同時由懸浮液(20)將該閃爍體(2)和由溶液(40)將所述體相異質結(4)沉積在所述基底(1)上，從而構成混合式光敏層。

13.按照權利要求11所述的方法，其中，將所述體相異質結(4)由溶液(40)通過噴霧過程沉積在所述多個閃爍體(2)上。

14.按照權利要求13所述的方法，其中，在所述體相異質結(4)的沉積之前通過ALD過程來鍍層所述多個閃爍體(2)，其中尤其通過ALD過程沉積出一個電極(3)。