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[發明專利]密集孔局部鍍厚銅工藝有效

專利信息
申請號: 201110355703.2 申請日: 2011-11-10
公開(公告)號: CN102427671A 公開(公告)日: 2012-04-25
發明(設計)人: 辜義成;曾志軍;曾紅 申請(專利權)人: 東莞生益電子有限公司
主分類號: H05K3/22 分類號: H05K3/22;H05K3/30
代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265 代理人: 林才桂
地址: 523000 廣東省*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 密集 局部 鍍厚銅 工藝
【權利要求書】:

1.一種密集孔局部鍍厚銅工藝,其特征在于,包括如下步驟:

步驟1、提供基板,對基板進行開料、內層圖形制作、棕化、層壓處理及X-RAY打孔;

步驟2、在基板上鉆鍍厚銅區域孔;

步驟3、鍍厚銅,其中鍍厚銅區域孔的孔壁銅厚鍍至75μm以上;

步驟4、貼干膜蓋住鍍厚銅區域孔,對基板的面銅進行減銅處理;

步驟5、在基板上鉆非鍍厚銅區域孔;

步驟6、對非鍍厚銅區域孔及鍍厚銅區域孔進行鍍銅。

2.如權利要求1所述的密集孔局部鍍厚銅工藝,其特征在于,還包括步驟2.1、烘板處理,烘板條件為150-180℃烘烤5h;步驟2.2、對鍍厚銅區域孔進行毛刺去除處理。

3.如權利要求1所述的密集孔局部鍍厚銅工藝,其特征在于,還包括步驟4.1、去除干膜、磨板及X-RAY打孔。

4.如權利要求1所述的密集孔局部鍍厚銅工藝,其特征在于,進一步包括步驟7、對步驟6鍍銅后的基板進行圖形電鍍、外層蝕刻、阻焊、沉金、銑板、電測及終檢處理,獲得成品。

5.如權利要求1所述的密集孔局部鍍厚銅工藝,其特征在于,步驟3中以15-20ASF的電流密度電鍍96min,然后將基板掉頭,再以15-20ASF的電流密度電鍍96min。

6.如權利要求1所述的密集孔局部鍍厚銅工藝,其特征在于,步驟6中以15-20ASF的電流密度電鍍48min,然后將基板掉頭,再以15-20ASF的電流密度電鍍48min。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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