[發(fā)明專(zhuān)利]用于濕法腐蝕及清洗工藝的兆聲波換能裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110355677.3
• 申請(qǐng)日: 2011-11-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102509713A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳儀;李春彥
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/02;B08B3/12
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種用于濕法腐蝕及清洗工藝的兆聲波換能裝置，其特征在于，包括：換能器(1)、振子單元(2)、固定裝置(3)、耦合介質(zhì)層(4)和阻抗變壓器(8)，所述振子單元(2)通過(guò)所述固定裝置(3)安裝于所述換能器(1)上，所述振子單元(2)與固定裝置(3)之間設(shè)有所述耦合介質(zhì)層(4)，所述振子單元(2)由所述阻抗變壓器(8)的功率輸出驅(qū)動(dòng)；所述振子單元(2)包括：至少兩個(gè)振子組，其中，每個(gè)振子組包括至少一個(gè)壓電晶體振子，每個(gè)振子組中的多個(gè)壓電晶體振子的固有機(jī)械振動(dòng)頻率相當(dāng)。

2.如權(quán)利要求1所述的用于濕法腐蝕及清洗工藝的兆聲波換能裝置，其特征在于，所述每個(gè)振子組中的所有壓電晶體振子連接同一功率阻抗變壓器的次級(jí)線圈的輸出端。

3.如權(quán)利要求1所述的用于濕法腐蝕及清洗工藝的兆聲波換能裝置，其特征在于，還包括用于安裝固定所述振子單元(2)的腔室(5)。

4.如權(quán)利要求3所述的用于濕法腐蝕及清洗工藝的兆聲波換能裝置，其特征在于，所述腔室(5)上設(shè)有用于引入氣冷流體的入口(6)和用于導(dǎo)出氣冷流體的出口(7)。

5.如權(quán)利要求1所述的用于濕法腐蝕及清洗工藝的兆聲波換能裝置，其特征在于，所述壓電晶體振子的形狀包括：環(huán)形、扇形、蜂窩式及其組合。

6.如權(quán)利要求1所述的用于濕法腐蝕及清洗工藝的兆聲波換能裝置，其特征在于，所述耦合介質(zhì)層(4)包括：熔點(diǎn)為20攝氏度～100攝氏度的膠水層。

7.如權(quán)利要求1所述的用于濕法腐蝕及清洗工藝的兆聲波換能裝置，其特征在于，所述換能器(1)為石英或紅寶石換能器。

8.如權(quán)利要求1所述的用于濕法腐蝕及清洗工藝的兆聲波換能裝置，其特征在于，所述壓電晶體振子由經(jīng)極化處理的鋯鈦酸鉛制備而成。

9.如權(quán)利要求1所述的用于濕法腐蝕及清洗工藝的兆聲波換能裝置，其特征在于，所述每個(gè)壓電晶體振子采用兩個(gè)或兩個(gè)以上的兆聲頻率，其中一個(gè)兆聲頻率工作于壓電晶體振子的固有機(jī)械振動(dòng)頻率，并且至少一個(gè)其他兆聲頻率在圍繞設(shè)定中心頻率的一定正負(fù)頻率區(qū)間內(nèi)掃描。

10.如權(quán)利要求1所述的用于濕法腐蝕及清洗工藝的兆聲波換能裝置，其特征在于，所述每個(gè)壓電晶體振子采用的兩個(gè)或兩個(gè)以上的兆聲頻率的功率輸出并分別連接到功率放大器的阻抗變壓器的不同的初級(jí)線圈，每個(gè)頻率對(duì)應(yīng)一個(gè)初級(jí)線圈，每個(gè)振子組都有對(duì)應(yīng)其所需不同頻率的不同功率放大器和一個(gè)合成用的阻抗變壓器。