[發明專利]一種多晶硅專用氈

無效

• 申請號: 201110355371.8
• 申請日: 2011-11-10
• 公開（公告）號: CN103100261A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 齊效峰;王立平;陳和峰
• 申請（專利權）人: 洛陽盛潔環保工程有限公司
• 主分類號: B01D39/14
• 分類號: B01D39/14;B32B9/04;B32B27/02;B32B27/12;B32B27/30
• 代理公司: 洛陽市凱旋專利事務所 41112
• 代理人: 陸君

技術領域

本發明涉及濾料技術領域，具體涉及一種多晶硅專用氈。

背景技術

多晶硅生產設備內環境為高溫高壓，且充滿四氯氫硅氣體，該氣體的腐蝕性強；現有的滌綸濾料難以長時間抵抗腐蝕氣體的侵蝕，極易損壞；頻繁的更換濾料對設備的連續生產造成影響。

發明內容

本發明創造所要解決的技術問題是提供一種耐腐蝕性強，且能適應高溫高壓環境的多晶硅專用氈。

為了實現上述發明目的，本發明創造采用如下技術方案：

一種多晶硅專用氈，包括作為基布的玄武巖基布，玄武巖纖維及PTFE纖維結合層；玄武巖纖維及PTFE纖維結合層分別鋪設在基布兩側并與基布結合，其中，過濾氣體進入方向的玄武巖纖維及PTFE纖維結合層上還設有PTFE膜結構。

進一步的，PTFE膜結構的膜孔徑控制在0.2～15μm之間。

進一步的，PTFE膜結構的空隙率達85％以上。

由于采用如上所述的技術方案，本發明創造產生如下積極效果：

1、由于該專用氈濾料的選用，玄武巖纖維具有耐高溫、耐腐蝕性；PTFE膜過濾精度高，能夠保證產品的精度；從而使該專用氈具備抗腐蝕性，能夠長期穩定的應用于多晶硅生產設備內高溫高壓環境。

2、經實際使用效果檢驗，此濾料比之前濾料使用時間延長一個月。

附圖說明

圖1是本發明創造的多晶硅專用氈的橫截面圖；

具體實施方式

結合圖1，多晶硅專用氈包括作為基布的玄武巖基布，玄武巖纖維及PTFE纖維結合層；玄武巖纖維及PTFE纖維結合層分別鋪設在基布兩側并與基布結合，其中，過濾氣體進入方向的玄武巖纖維及PTFE纖維結合層上還設有PTFE膜結構。PTFE膜結構的膜孔徑控制在0.2～15μm之間，其空隙率達85％以上。

玄武巖纖維較好的耐高溫性能和優異的需酸堿腐蝕性能，需溫可以達到600度以上，尤其是耐酸性突出；利用PTFE膜獨特的節點原纖性、表面光滑、耐化學物質、透氣不透水、透氣量大、阻燃、耐高溫、抗強酸堿、無毒等特性；使該多晶硅專用氈能夠長時間抵抗腐蝕氣體的侵蝕，不必頻繁的更換濾料，從而更能保證設備的連續生產。