[發明專利]一種基于橢偏儀的薄膜溫度測量方法有效
| 申請號： | 201110354870.5 | 申請日： | 2011-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN102507040A | 公開（公告）日： | 2012-06-20 |
| 發明（設計）人： | 張榮君;鄭玉祥;陳良堯;張帆;林崴;耿陽;盧紅亮 | 申請（專利權）人： | 復旦大學 |
| 主分類號： | G01K11/00 | 分類號： | G01K11/00 |
| 代理公司： | 上海正旦專利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陸飛;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 橢偏儀 薄膜 溫度 測量方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于橢偏儀的薄膜溫度測量方法，其特征在于具體步驟為：
（1）首先，利用反射式橢偏儀測量幾組不同溫度下薄膜的折射率譜線，作為該薄膜的標準折射率譜NT?(λ)；
（2）然后，利用反射式橢偏儀測量在相同實驗條件下溫度未知的某一被測薄膜的折射率譜線Nx?(λ)；
（3）采用最小二乘法，計算被測薄膜的折射率譜線Nx?(λ)與每組標準折射率譜線NT?(λ)的對應各波長點的折射率差值平方，并分別求和，得到一組方差????????????????????????????????????????????????:
??????????????????????（1）
（4）比較這一組方差的大小，數值最小的方差所對應的標準折射率譜線就是被測薄膜的最佳匹配譜線，該標準譜線所對應的溫度就是被測薄膜的溫度。
2.根據權利要求1所述的基于橢偏儀的薄膜溫度測量方法，其特征在于步驟（1）中，測量薄膜的標準折射率譜時，所述不同溫度的誤差為20?oC-50?oC?。
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