[發(fā)明專利]光電轉(zhuǎn)換層的制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110354603.8
• 申請日: 2011-10-26
• 公開（公告）號(hào): CN102354718A
• 公開（公告）日: 2012-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 簡怡峻;黃明義;蕭杰予;吳一凡;林漢涂
• 申請（專利權(quán)）人: 友達(dá)光電股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 郭蔚

1.一種光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，包括：

于一基板上形成一第一金屬層，該第一金屬層的材質(zhì)包括至少兩種第三族元素；

于一第一輔助基板上形成一第一非金屬層，該第一非金屬層的材質(zhì)包括至少一種第六族元素；

將該第一金屬層的表面與該第一非金屬層的表面接觸后，對該第一金屬層與該第一非金屬層進(jìn)行一第一熱制程，以于該基板與該第一輔助基板之間形成一第一材料混合層，該第一材料混合層包括該至少兩種第三族元素與該至少一種第六族元素；

將該第一輔助基板與該第一材料混合層分離；

于一第二輔助基板上依序形成一第二金屬層與一第二非金屬層，該第二金屬層的材質(zhì)包括至少一種第一族元素，該第二非金屬層的材質(zhì)包括至少一種第六族元素；

將該第一材料混合層的表面與該第二非金屬層的表面接觸后，對該第一材料混合層與該第二金屬層及該第二非金屬層進(jìn)行一第二熱制程，以于該基板與該第二輔助基板之間形成一第二材料混合層，該第二材料混合層包括該第一材料混合層、該第二金屬層及該第二非金屬層所含有的元素；以及

將該第二輔助基板與該第二材料混合層分離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第一金屬層的材質(zhì)更包括至少一種第一族元素。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第一金屬層的材質(zhì)包括銦、鎵及銅。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第一非金屬層的材質(zhì)包括硒。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，第二金屬層的材質(zhì)更包括至少兩種第三族元素。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第二金屬層的該至少兩種第三族元素與該第一金屬層的該至少兩種第三族元素相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第一金屬層中之一種第三族元素的含量大于其它種第三族元素的含量，以及該第二金屬層中的另一種第三族元素的含量大于其它種第三族元素的含量。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第二金屬層的材質(zhì)包括銦、鎵及銅。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第二非金屬層的材質(zhì)包括硒。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，更包括：

于一第三輔助基板上依序形成一第三金屬層與一第三非金屬層，該第三金屬層的材質(zhì)包括至少兩種第三族元素，該第三非金屬層的材質(zhì)包括至少一種第六族元素；

將該第二材料混合層的表面與該第三非金屬層的表面接觸后，對該第二材料混合層與該第三金屬層及該第三非金屬層進(jìn)行一第三熱制程，以于該基板與該第三輔助基板之間形成一第三材料混合層，該第三材料混合層包括該第二材料混合層、該第三金屬層及該第三非金屬層所含有的元素；以及

將該第三輔助基板與該第三材料混合層分離。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第一金屬層的材質(zhì)包括銦鎵。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，第二金屬層的材質(zhì)包括銅。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第三金屬層的該至少兩種第三族元素與該第一金屬層的該至少兩種第三族元素相同。

14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第三非金屬層的材質(zhì)包括硒。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第一金屬層與該基板之間先形成一電極層。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第一金屬層與該第二金屬層中任一者包括一合金層、多個(gè)金屬層或上述的組合。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，該第一金屬層與該第二金屬層中任一者的形成方法包括濺鍍法或蒸鍍法。

18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換層的制造方法，其特征在于，各該熱制程包括一快速回火制程或一熱爐管制程。