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[發明專利]金屬/ TiO2復合多層膜光催化劑及其制備方法無效

專利信息
申請號: 201110354462.X 申請日: 2011-11-10
公開(公告)號: CN102407107A 公開(公告)日: 2012-04-11
發明(設計)人: 董雯;方亮;鄭分剛;沈明榮 申請(專利權)人: 蘇州大學
主分類號: B01J23/42 分類號: B01J23/42;C02F1/32;C02F103/30
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 常亮;李辰
地址: 215123 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 金屬 tio sub 復合 多層 光催化劑 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種金屬/TiO2復合多層膜光催化劑,沉積于載體表面,其特征在于:所述光催化劑包括第一TiO2薄膜層、Pt薄膜層和第二TiO2薄膜層,所述第一TiO2薄膜層沉積于所述載體表面,所述Pt薄膜層沉積于所述第一TiO2薄膜層表面,所述第二TiO2薄膜層沉積于所述Pt薄膜層表面。

2.根據權利要求1所述的金屬/TiO2復合多層膜光催化劑,其特征在于:所述載體為石英片。

3.一種如權利要求1或2所述的金屬/TiO2復合多層膜光催化劑的制備方法,其特征在于包括下述步驟:

(1)將載體放置于真空反應腔內,將真空反應腔內的壓力控制在第一壓力范圍;

(2)向真空反應腔內通入氬氣并將真空反應腔內的壓力控制在第二壓力范圍;

(3)通過磁控濺射法于所述載體表面分別沉積第一TiO2薄膜層、Pt薄膜層和第二TiO2薄膜層,從而獲得三層膜結構的光催化劑;

(4)將所述步驟(3)中獲得的光催化劑在空氣中進行燒結,然后自然冷卻到室溫。

4.根據權利要求3所述的金屬/TiO2復合多層膜光催化劑的制備方法,其特征在于:所述第一壓力范圍為1×10-4Pa-3×10-4Pa。

5.根據權利要求3所述的金屬/TiO2復合多層膜光催化劑的制備方法,其特征在于:所述第二壓力范圍為1Pa-2Pa。

6.根據權利要求3所述的金屬/TiO2復合多層膜光催化劑的制備方法,其特征在于:所述步驟(3)中還包括一射頻磁控濺射儀,所述射頻磁控濺射儀的工作頻率是13.56MHz。

7.根據權利要求3所述的金屬/TiO2復合多層膜光催化劑的制備方法,其特征在于:所述步驟(3)中沉積第一TiO2薄膜層和沉積第二TiO2薄膜層的濺射功率為180-220W,所述步驟(3)中沉積Pt薄膜層的濺射功率為25-35W。

8.根據權利要求3所述的金屬/TiO2復合多層膜光催化劑的制備方法,其特征在于:所述第一TiO2薄膜層和第二TiO2薄膜層的沉積時間均為5分鐘,所述Pt薄膜層的沉積時間為0-80s。

9.根據權利要求3所述的金屬/TiO2復合多層膜光催化劑的制備方法,其特征在于:所述步驟(4)中將光催化劑在空氣中進行燒結的燒結溫度為250℃-500℃,燒結時間為30分鐘-2小時。

10.根據權利要求3所述的金屬/TiO2復合多層膜光催化劑的制備方法,其特征在于:所述步驟(3)中還包括TiO2陶瓷靶和Pt靶,所述TiO2陶瓷靶和Pt靶的直徑均為50mm。

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