[發(fā)明專利]一種傳輸線自動(dòng)阻抗匹配系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110353777.2
• 申請(qǐng)日: 2011-11-09
• 公開（公告）號(hào): CN103107793A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫小孟;李勇滔;李英杰;趙章琰;秦威;夏洋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號(hào): H03H7/40
• 分類號(hào): H03H7/40
• 代理公司: 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.一種傳輸線自動(dòng)阻抗匹配系統(tǒng)，位于射頻電源與等離子體腔室之間，其特征在于，所述系統(tǒng)包括：

功率相位檢測模塊，用于檢測出射頻信號(hào)的幅值與相位信息，并通過A/D轉(zhuǎn)換輸出所述幅值與相位信息；

位置監(jiān)測模塊，用于實(shí)時(shí)監(jiān)測阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的電容值信息，并通過A/D轉(zhuǎn)換器發(fā)送所述電容值信息；

控制模塊，用于接收所述功率相位檢測模塊輸出的幅值與相位信息，以及所述位置監(jiān)測模塊發(fā)送的電容值信息，并根據(jù)所述幅值與相位信息和電容值信息，生成控制信號(hào)，發(fā)送所述控制信號(hào)；

直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)模塊，用于接收所述控制信號(hào)，并根據(jù)所述控制信號(hào)生成不同的電壓信號(hào)，發(fā)送所述電壓信號(hào)；

阻抗匹配執(zhí)行模塊，用于接收所述電壓信號(hào)，并根據(jù)所述電壓信號(hào)調(diào)整阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)等離子體腔室與傳輸線的阻抗匹配。

2.如權(quán)利要求1所述的傳輸線自動(dòng)阻抗匹配系統(tǒng)，其特征在于，所述功率相位檢測模塊包括互感器、幅值相位檢測器和A/D轉(zhuǎn)換器；所述互感器用于檢測出射頻信號(hào)的電壓值和電流值，所述幅值相位檢測器用于檢測電流信號(hào)和電壓信號(hào)的相位差，通過A/D轉(zhuǎn)換器輸出至所述控制模塊。

3.如權(quán)利要求2所述的傳輸線自動(dòng)阻抗匹配系統(tǒng)，其特征在于，所述位置監(jiān)測模塊包括兩個(gè)電位器和A/D轉(zhuǎn)換器。

4.如權(quán)利要求3所述的傳輸線自動(dòng)阻抗匹配系統(tǒng)，其特征在于，所述阻抗匹配執(zhí)行模塊包括第一直流電機(jī)、第二直流電機(jī)、第一可調(diào)電容、第二可調(diào)電容和可調(diào)電感；所述第一直流電機(jī)的輸出軸通過傳動(dòng)齒輪與所述第一可調(diào)電容的調(diào)節(jié)軸連接；所述第二直流電機(jī)的輸出軸通過傳動(dòng)齒輪與所述第二可調(diào)電容的調(diào)節(jié)軸連接；所述第二可調(diào)電容與可調(diào)電感串聯(lián)之后，再與所述第一可調(diào)電容并聯(lián)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳輸線自動(dòng)阻抗匹配系統(tǒng)，其特征在于，所述第一可調(diào)電容和第二可調(diào)電容分別為可變真空電容。