[發明專利]光刻投影物鏡有效
| 申請號： | 201110353697.7 | 申請日： | 2011-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN103105664A | 公開（公告）日： | 2013-05-15 |
| 發明（設計）人： | 張品祥;黃玲 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G02B13/06 | 分類號： | G02B13/06;G02B13/18;G02B13/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京連和連知識產權代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光輝 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 投影 物鏡 | ||
【權利要求書】：
1.一種光刻投影物鏡，其特征在于，所述光刻投影物鏡包含：第一平面反射鏡，具有正光焦度的第一球面反射鏡，具有負光焦度的鏡片組，具有負光焦度的第二球面反射鏡，第二平面反射鏡；光線沿傳播方向，依次經過第一平面反射鏡，第一球面反射鏡，鏡片組，第二球面反射鏡，鏡片組，第一球面反射鏡，第二平面反射鏡。
2.如權利要求1所述的光刻投影物鏡，其特征在于還包括一光闌，設置在所述第二球面反射鏡上。
3.如權利要求1所述的光刻投影物鏡，其特征在于所述第一球面反射鏡、第二球面反射鏡以及透鏡組，沿所述透鏡組光軸呈軸對稱設置。
4.如權利要求2所述的投影物鏡，其特征在于所述透鏡組的通光孔徑Dg和所述光闌的通光孔徑Ds的比值具有如下關系：1.3<Dg/Ds<3。
5.如權利要求1所述的光刻投影物鏡，其特征在于所述透鏡組至少包含兩片透鏡，且兩片透鏡具有不同的阿貝數。
6.如權利要求1所述的光刻投影物鏡，其特征在于所述透鏡組至少包含兩片透鏡，且兩片透鏡具有相反的光焦度。
7.如權利要求5或6所述的光刻投影物鏡，其特征在于所述兩片透鏡為非球面鏡。
8.如權利要求1所述的光刻投影物鏡，其特征在于所述光刻投影物鏡的物方視場為圓弧形。
9.如權利要求1所述的光刻投影物鏡，其特征在于所述光刻投影物鏡具有500mm的非掃描方向視場，數值孔徑為0.8。
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