[發明專利]質量分析裝置

有效

• 申請號: 201110353331.X
• 申請日: 2011-11-07
• 公開（公告）號: CN102468111A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發明（設計）人: 諸熊秀俊;橋本雄一郎;杉山益之;山田益義;長谷川英樹
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 丁文蘊;熊志誠

1.一種質量分析裝置，其特征在于：

具有：為了將測定試樣離子化而使從外部流入的氣體離子化的離子源，以及分離已離子化的上述測定試樣的質量分析部；

上述離子源通過來自上述質量分析部的差動排氣來使內部減壓，在吸入上述氣體而使內壓上升至約100Pa～約10000Pa時使上述氣體離子化；

上述質量分析部在與上述氣體的吸入聯動地上升的內壓在吸入上述氣體后下降到約0.1Pa以下時，將已離子化的上述測定試樣分離。

2.根據權利要求1所述的質量分析裝置，其特征在于：

具有：抑制上述離子源取入的上述氣體的流量的抑制構件，以及開閉上述離子源取入的上述氣體的氣流的開閉機構。

3.根據權利要求2所述的質量分析裝置，其特征在于：

上述抑制構件和上述開閉機構相對于上述離子源配置在上述氣體的氣流的上游側。

4.根據權利要求3所述的質量分析裝置，其特征在于：

上述測定試樣的配置如下：

(a)相對于上述離子源配置在上述氣體的氣流的下游側，或者

(b)相對于上述抑制構件和上述開閉機構配置在上述氣體的氣流的下游側、且相對于上述離子源配置在上述氣體的氣流的上游側，或者

(c)配置在上述氣體的氣流的上述抑制構件和上述開閉機構之間，或者

(d)相對于上述抑制構件配置在上述氣體的氣流的下游側、且相對于上述開閉機構配置在上述氣體的氣流的上游側，或者

(e)相對于上述抑制構件和上述開閉機構配置在上述氣體的氣流的上游側。

5.根據權利要求3所述的質量分析裝置，其特征在于：

上述測定試樣相對于上述抑制構件配置在上述氣體的氣流的上游側，

上述抑制構件相對于上述開閉機構配置在上述氣體的氣流的上游側。

6.根據權利要求1所述的質量分析裝置，其特征在于：

上述離子源具有能將內部減壓的電介質隔壁和經上述電介質隔壁而能施加交流電壓的第一電極和第二電極，

通過施加上述交流電壓而在內部產生的放電來使上述氣體離子化。

7.根據權利要求6所述的質量分析裝置，其特征在于：

上述第一電極和上述第二電極配置在上述離子源的上述電介質隔壁的外側。

8.根據權利要求6所述的質量分析裝置，其特征在于：

上述第一電極和上述第二電極的任一個配置在隔著上述離子源的能減壓的內部的上述電介質隔壁的外側。

9.根據權利要求6所述的質量分析裝置，其特征在于：

上述離子源內部的上述放電發生的區域與上述測定試樣的氣流遠離。

10.根據權利要求1所述的質量分析裝置，其特征在于：

具有上述測定試樣在內測流動的毛細管，

在上述毛細管的外側，將上述氣體離子化，

在上述毛細管的下游側，通過已離子化的上述氣體來使上述測定試樣離子化。

11.根據權利要求1所述的質量分析裝置，其特征在于：

上述質量分析部，在其內壓下降到約0.1Pa以下而使已離子化的上述測定試樣分離之后，

通過上述離子源在取入上述氣體而使內壓再次上升到約100Pa～10000Pa時使上述氣體離子化，從而反復對上述測定試樣進行質量分析。

12.根據權利要求1所述的質量分析裝置，其特征在于：

具有艙開閉機構，其對容納上述質量分析部的真空艙的上述氣體的氣流的上游側的入口進行開閉。

13.根據權利要求1所述的質量分析裝置，其特征在于：

具有容納上述測定試樣，且能使內部減壓地與上述離子源連接的試樣容器，

上述試樣容器是能裝卸的。

14.根據權利要求1所述的質量分析裝置，其特征在于：

具有容納上述測定試樣，且與能對上述離子源的內部進行減壓的電介質隔壁連接的試樣容器，

上述試樣容器在與上述電介質隔壁連接的狀態下能與上述電介質隔壁一起裝卸。