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[發(fā)明專利]一種氧化鋁-氧化錫復(fù)合納米管的制備方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201110352115.3 申請日: 2011-11-09
公開(公告)號: CN103105419A 公開(公告)日: 2013-05-15
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 姜來新;毛啟明;尹桂林;何丹農(nóng) 申請(專利權(quán))人: 上海納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心有限公司
主分類號: G01N27/04 分類號: G01N27/04
代理公司: 上海東方易知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 31121 代理人: 唐莉莎
地址: 200241 *** 國省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 氧化鋁 氧化 復(fù)合 納米 制備 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種氧化鋁-氧化錫復(fù)合納米管的制備方法,其特征在于包括如下步驟:

配置高分子聚合物溶液,用靜電紡絲方法制備聚合物纖維;將纖維干燥箱中老化后,再用原子層沉積方法在纖維上制備氧化鋁和氧化錫薄膜;最后將復(fù)合纖維高溫下燒結(jié)得到氧化鋁-氧化錫復(fù)合結(jié)構(gòu)納米管;

其中所述高分子聚合物為聚丙烯腈、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯中的一種或其組合,所述高分子聚合物溶液的質(zhì)量濃度為5~10%。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種氧化鋁-氧化錫復(fù)合納米管的制備方法,其特征在于,所述靜電紡絲方法制備聚合物纖維,所加電壓為8~15?KV,喂液速度為0.5~2ml/h。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種氧化鋁-氧化錫復(fù)合納米管的制備方法,其特征在于,所述老化為在溫度為200?℃的干燥箱中老化2小時(shí)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種氧化鋁-氧化錫復(fù)合納米管的制備方法,其特征在于,所述原子層沉積方法制備氧化鋁薄膜,所用沉積溫度為120~200℃,將前驅(qū)體三甲基鋁通入0.2秒脈沖時(shí)間,清洗脈沖時(shí)間為4s;通入水蒸汽脈沖0.2秒,清洗脈沖時(shí)間4秒,至此完成一個(gè)循環(huán)的氧化鋁的沉積,通過控制循環(huán)數(shù)量得到一定厚度的氧化鋁薄膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種氧化鋁-氧化錫復(fù)合納米管的制備方法,其特征在于,所述原子層沉積制備氧化錫薄膜所用沉積溫度為550?℃以上,將前驅(qū)體四氯化錫通入0.3秒脈沖時(shí)間,清洗脈沖時(shí)間為5秒;通入水蒸汽脈沖0.2秒s,清洗脈沖時(shí)間4秒,至此完成一個(gè)循環(huán)的氧化錫的沉積,通過控制循環(huán)數(shù)量得到一定厚度的氧化錫薄膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種氧化鋁-氧化錫復(fù)合納米管的制備方法,其特征在于,所述復(fù)合纖維的燒結(jié)溫度為1000℃以上,燒結(jié)時(shí)間大于1小時(shí)。

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1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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