[發明專利]TFT-LCD制程中多層UV烘烤爐的UV照度的檢測方法及用于實施該方法的取片組合裝置

有效

• 申請號: 201110351921.9
• 申請日: 2011-11-09
• 公開（公告）號: CN102435307A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 尹鳳鳴;江文彬
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01J1/00
• 分類號: G01J1/00;H01L21/66
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種TFT-LCD制程中多層UV烘烤爐的UV照度的檢測方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、提供TFT-LCD制程中多層UV烘烤爐、取片裝置、檢測控制系統及可檢測UV照度的傳感器；

步驟2、在取片裝置上設置傳感器；

步驟3、通訊連接檢測控制系統與傳感器；

步驟4、操作取片裝置將傳感器送到多層UV烘烤爐的爐層中需要檢測UV照度的位置處；

步驟5、傳感器采集數據，并將取得的數據傳送到檢測控制系統，從而實現檢測。

2.如權利要求1所述的TFT-LCD制程中多層UV烘烤爐的UV照度的檢測方法，其特征在于，取片裝置包括本體及一安裝于本體上的取片叉，傳感器設置于取片叉上。

3.如權利要求2所述的TFT-LCD制程中多層UV烘烤爐的UV照度的檢測方法，其特征在于，該取片叉包括數個支撐部及連接在支撐部一端的連接部，傳感器設于支撐部上。

4.如權利要求3所述的TFT-LCD制程中多層UV烘烤爐的UV照度的檢測方法，其特征在于，傳感器設于最外側的一支撐部的自由末端的外側上。

5.如權利要求1所述的TFT-LCD制程中多層UV烘烤爐的UV照度的檢測方法，其特征在于，步驟4操作取片裝置將傳感器送到多層UV烘烤爐的爐層中需要檢測UV照度的位置處，該位置處對應TFT-LCD制程中多層UV烘烤爐每個爐層內設置的UV燈管的位置而定，且該取片裝置通過進入TFT-LCD制程中多層UV烘烤爐的爐層來將傳感器送到多層UV烘烤爐的爐層中需要檢測UV照度的位置處。

6.如權利要求1所述的TFT-LCD制程中多層UV烘烤爐的UV照度的檢測方法，其特征在于，步驟3通訊連接檢測控制系統與傳感器采用有線或無線進行通訊連接。

7.一種取片組合裝置，其特征在于，包括取片裝置及設置于取片裝置的傳感器。

8.如權利要求7所述的取片組合裝置，其特征在于，該取片裝置包括本體及一安裝于本體上的取片叉，該傳感器設置于取片叉上。

9.如權利要求8所述的取片組合裝置，其特征在于，該取片叉包括數個支撐部及連接在支撐部一端的連接部，傳感器設于支撐部上。

10.如權利要求9所述的取片組合裝置，其特征在于，傳感器設于最外側的一支撐部的自由末端的外側上。