[發(fā)明專利]聚二甲基硅氧烷表面應(yīng)力微薄膜生物傳感器制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110348853.0
• 申請日: 2011-11-08
• 公開（公告）號: CN102502478A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 桑勝波;張文棟;李朋偉;奉輝
• 申請（專利權(quán)）人: 太原理工大學(xué)
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;G01N33/48
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種聚二甲基硅氧烷表面應(yīng)力微薄膜生物傳感器制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)在[001]單晶硅原片兩側(cè)淀積氮化硅；

(2)在上層氮化硅的表面旋涂約1μm厚的聚二甲基硅氧烷薄膜；

(3)旋涂及曝光光刻膠；

(4)蒸鍍厚度為20nm，長×寬＝390μm×390μm的金薄膜；

(5)剝離光刻膠；

(6)在硅基片的背面旋涂、曝光光刻膠；

(7)用反應(yīng)離子刻蝕的方法刻蝕下層氮化硅；

(8)氫氧化鉀刻蝕硅；

(9)用反應(yīng)離子刻蝕的方法刻蝕上層氮化硅，釋放長×寬＝400μm×400μm的聚二甲基硅氧烷微薄膜；

(10)以熔融狀態(tài)聚二甲基硅氧烷為粘結(jié)劑在聚二甲基硅氧烷薄膜表面鍵合玻璃微腔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述步驟(1)包括以下步驟：

1)室溫下，以Sylgard?184和己烷為原材料按照基液∶固化劑∶己烷＝10∶1∶3(體積比)的比例配置20ml原溶液；

2)強(qiáng)力攪拌使原溶液混合均勻；

3)將混合均勻的原溶液倒入玻璃器皿中抽真空15分鐘以濾除氣泡；得到旋涂液；

4)使用旋涂機(jī)在上層氮化硅表面以6200rpm/132s的旋涂速率進(jìn)行旋涂；

5)涂覆后再用電熱爐在150℃下加熱15分鐘，對形成的聚二甲基硅氧烷薄膜進(jìn)行固化。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述的聚二甲基硅氧烷微薄膜，其表面金膜長寬為：390μm×390μm，該尺寸比例能夠提供最大的應(yīng)力形變。