[發明專利]面向實驗室的快速氣體滲入工藝及其設備

無效

• 申請號: 201110348605.6
• 申請日: 2011-11-07
• 公開（公告）號: CN102392209A
• 公開（公告）日: 2012-03-28
• 發明（設計）人: 封文江;張治國;李國德;王傳銀;董莉;尹小荷;孟萍萍
• 申請（專利權）人: 沈陽師范大學
• 主分類號: C23C8/06
• 分類號: C23C8/06
• 代理公司: 沈陽維特專利商標事務所(普通合伙) 21229
• 代理人: 甄玉荃;孫麗珠

1.面向實驗室的在金屬體表面快速氣體滲入工藝，用于在金屬體表面快速滲入氣體工藝，其實現步驟為：

1)通過熱重-熱掃描，在293-1473K精確確定滲入氣體最大速率所對應的溫度T_S；

2)在面向實驗室的快速滲入氣體的工藝及其所采用的設備中低于T_S的溫度值真空退火30分鐘以除去吸附在材料表面的雜質氣體；

3)經過至少3次用所滲氣體沖洗圓形爐管后，在最佳溫度值T_S下滲入氣體或者進行固-氣反應，在短時間內得到樣品。

2.一種面向實驗室的在金屬體表面快速氣體滲入工藝所采用的設備，它由爐體及與爐體配套的裝置兩部分組成；其特征在于：所述與爐體配套的裝置包括與爐體內徑相應的爐管，爐管的冷卻裝置、充放氣裝置，以及在爐管內設有放置樣品(6)的坩堝(5)；在靠近爐管(4)開口端設有環形冷卻水腔(7)，在所述環形冷卻水腔(7)上分別有冷卻水出口(8)與冷卻水入口(9)；在所述爐管(4)開口端靠近環形冷卻水腔(7)處設有與真空機組相連的抽氣通道(10)；在抽氣管道開關閥(11)與爐管(4)之間設有與高壓氣瓶相連的充氣管道(13)，其上設有充氣管道開關閥(12)；在所述爐管(4)開口端采用帶密封圈的爐管螺栓(14)密封。

3.根據權利要求2所述的面向實驗室的在金屬體表面快速氣體滲入工藝所采用的設備，其特征在于：所述爐體為帶有熱電偶與控溫裝置(3)的管式電阻爐(2)，在爐體下方設有支撐輪(1)。

4.根據權利要求2所述的面向實驗室的在金屬體表面快速氣體滲入工藝中所采用的設備，其特征在于：在所述爐管(4)上設有氣體壓力計(15)。

5.根據權利2-4中任意一項中所述的面向實驗室的在金屬體表面快速氣體滲入工藝所采用的設備，其特征在于：所述爐管(4)遠離開口一端，采用高溫耐火不銹鋼制成，要求在1000℃下連續保溫6小時無氧化。

6.根據權利要求2所述的面向實驗室的在金屬體表面快速氣體滲入工藝所采用的設備，其特征在于：所述的環形冷卻水腔(7)與爐管焊接相連。

7.根據權利要求2所述的面向實驗室的在金屬體表面快速氣體滲入工藝所采用的設備，其特征在于：所述爐體支撐輪(1)采用耐磨鋼制成，在輪下設有相應的滑動導軌。

8.根據權利要求2所述的面向實驗室的在金屬體表面快速氣體滲入工藝所采用的設備，其特征在于：所述的抽氣管道開關閥(11)與充氣管道開關閥(12)采用真空蝶閥。