[發明專利]一種雙燈絲離子源弧流平衡調節方法

無效

• 申請號: 201110347060.7
• 申請日: 2011-11-07
• 公開（公告）號: CN103094033A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 林萍;伍三忠
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244;H01J37/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種雙燈絲離子源平衡調節方法，包括：燈絲電源1(1)、燈絲電源2(2)、偏置電源1(3)、偏置電源2(4)、弧壓電源(5)、比較器1(6)、比較器2(7)、兩個霍爾傳感器(8)。其特征在于：

其中所述雙燈絲離子源包括：燈絲電源1(1)、燈絲電源2(2)、偏置電源1(3)、偏置電源2(4)、弧壓電源(5)、比較器1(6)、比較器2(7)、兩個霍爾傳感器(8)、兩個反向器(9)。燈絲電源1(1)和2(2)用來給離子源的燈絲加熱，當燈絲加熱溫度達到一定程度時，燈絲就會發射電子，偏置電源1(3)和2(4)加在陰極與燈絲之間，使得電子以一定能量打到陰極上，形成偏流。同樣陰極在持續的轟擊下，陰極表面發射電子，弧壓電源(5)連接在弧室與陰極之間，電子在弧壓電場作用下，向弧室運動，最終吸附到弧室上形成弧流。

2.權利要求1的一種雙燈絲離子源平衡調節方法，其中所述的調節方法：首先是設定偏流值和相應的弧流值，然后調節燈絲電源1(1)和偏置電源1(3)，直到調出設定的偏流值和弧流值即可。

3.權利要求2的一種雙燈絲離子源平衡調節方法，權利要求1所述的燈絲電源1(1)和偏置電源1(3)調節完畢后，以他們的輸出值為基準，調節燈絲電源2(2)和偏置電源2(4)。直至偏流和弧流分別與設定值相等。