[發明專利]一種柵極電介質材料及其制備方法

有效

• 申請號: 201110345065.6
• 申請日: 2011-11-04
• 公開（公告）號: CN102503400A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 侯育冬;司美菊;朱滿康;葛海燕;嚴輝
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: C04B35/44
• 分類號: C04B35/44;C04B35/50;C04B35/622
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 沈波

1.一種柵極電介質材料，其特征在于，其組成為(1-x)LaAlO₃-x?BiAlO₃，0.05≤x≤0.2，形成一種多元固溶體系LaAlO₃-BiAlO₃，BiAlO₃的量占基體摩爾數為5-20％。

2.權利要求1所述的一種柵極電介質材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟

1)將原料La₂O₃、Al₂O₃、Bi₂O₃，按化學式(1-x)LaAlO₃-x?BiAlO₃進行配料及混合，得到混合物粉體，0.05≤x≤0.2；

2)以無水乙醇為介質將混合物球磨8-24小時，出料并干燥后，以3-8℃/min升溫至1090-1120℃下進行預合成，保溫2～4小時；預合成得到的料，以無水乙醇為介質、再次球磨9～12小時，出料并干燥；粉料中加入粉料質量5％的粘膠劑溶液，以40-60MPa壓力擠壓成圓片，其中粘膠劑溶液為質量濃度為18％的聚乙烯醇溶液；

3)圓片在560～580℃下保溫2～4小時排塑，升溫速率為1～5℃/min；然后將圓片置于氧化鋁坩堝中，密閉燒結，燒結溫度為1310～1330℃，保溫時間為3～5小時，即得陶瓷片。