[發明專利]結晶設備、結晶方法及制造有機發光顯示裝置的方法

有效

• 申請號: 201110344773.8
• 申請日: 2011-11-04
• 公開（公告）號: CN102554459A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 樸喆鎬
• 申請（專利權）人: 三星移動顯示器株式會社
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/04;H01L21/268;H01L21/77
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 羅正云;宋志強

1.一種結晶設備，所述結晶設備使用連續橫向固化并使形成在基板上的非晶硅層結晶，所述結晶設備包括：

被配置為發射激光束的激光產生裝置；

被配置為處理從所述激光產生裝置發射的激光束并將處理后的激光束照射到所述基板上的第一光學系統；

與所述第一光學系統平行的第二光學系統，所述第二光學系統被配置為處理從所述激光產生裝置發射的激光束并將處理后的激光束照射到所述基板上；以及

被配置為切換從所述激光產生裝置發射的激光束的路徑并將所述激光束交替分配到所述第一光學系統和所述第二光學系統的路徑切換構件。

2.根據權利要求1所述的結晶設備，其中從所述激光產生裝置發射的激光束周期性地交替傳輸到所述第一光學系統和所述第二光學系統。

3.根據權利要求1所述的結晶設備，其中從所述激光產生裝置發射的激光束在所述基板相對于所述結晶設備移動的同時照射到所述基板上。

4.根據權利要求3所述的結晶設備，其中所述第一光學系統對應于所述基板上的多個面板中的第一面板，且被配置為使所述第一面板上的非晶硅層結晶，并且所述第二光學系統對應于所述基板上的多個面板中的第二面板，且被配置為使所述第二面板上的非晶硅層結晶。

5.根據權利要求4所述的結晶設備，其中當所述第一光學系統越過所述第一面板上的非晶硅層的需要結晶的區域時，從所述激光產生裝置發射的激光束被配置為通過所述第一光學系統而照射到所述第一面板上，并且當所述第二光學系統越過所述第二面板上的非晶硅層的需要結晶的區域時，從所述激光產生裝置發射的激光束被配置為通過所述第二光學系統而照射到所述第二面板上。

6.根據權利要求1所述的結晶設備，其中從所述激光產生裝置發射的激光束為脈沖激光束。

7.根據權利要求6所述的結晶設備，其中所述基板上一次照射脈沖激光束的第一激光照射區域，與下次照射脈沖激光束的第二激光照射區域，被形成為彼此部分重疊。

8.根據權利要求7所述的結晶設備，其中所述第一激光照射區域和所述第二激光照射區域的重疊區域中的非晶硅層被配置為通過兩次熔融并固化而結晶。

9.根據權利要求1所述的結晶設備，其中所述路徑切換構件包括反射部分和透射部分，所述反射部分和所述透射部分被交替布置在所述激光束的路徑上。

10.根據權利要求9所述的結晶設備，其中所述激光束通過所述透射部分被傳輸到所述第一光學系統。

11.根據權利要求9所述的結晶設備，其中所述激光束在所述反射部分處被反射并被傳輸到所述第二光學系統。

12.根據權利要求9所述的結晶設備，其中所述路徑切換構件被配置為執行相對于所述激光束的路徑的往復移動。

13.根據權利要求1所述的結晶設備，其中所述路徑切換構件包括棱鏡，并且從所述激光產生裝置發射的激光束交替照射到所述棱鏡的第一表面和第二表面。

14.根據權利要求1所述的結晶設備，其中所述路徑切換構件包括棱鏡，所述棱鏡被配置為執行相對于所述激光束的路徑的往復移動。

15.根據權利要求1所述的結晶設備，其中所述激光產生裝置包括第一激光產生裝置和第二激光產生裝置。

16.根據權利要求15所述的結晶設備，其中所述第一激光產生裝置和所述第二激光產生裝置產生的激光束是交替照射到所述基板上的脈沖激光束。

17.根據權利要求16所述的結晶設備，其中所述第二激光產生裝置產生的激光束產生于所述第一激光產生裝置產生的脈沖激光束的脈沖之間。

18.一種結晶方法，所述結晶方法使用連續橫向固化并使形成在基板上的非晶硅層結晶，所述基板上平行設置有多個面板，所述結晶方法包括：

在所述基板上形成所述非晶硅層；

相對于結晶設備移動所述基板；

在所述基板相對于所述結晶設備移動的同時執行結晶，所述結晶的執行通過將激光束交替照射到所述多個面板中的第一面板和第二面板上而實現，所述第一面板和所述第二面板彼此平行設置。