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[發明專利]用于內含大小兩種不同粒徑固相物質的廢切削液的淘洗分濾裝置無效

專利信息
申請號: 201110344611.4 申請日: 2011-11-04
公開(公告)號: CN102397719A 公開(公告)日: 2012-04-04
發明(設計)人: 夏培根;黃國華;潘惠民 申請(專利權)人: 夏培根
主分類號: B01D29/50 分類號: B01D29/50;B01D29/86;C10M175/00
代理公司: 常州市天龍專利事務所有限公司 32105 代理人: 夏海初
地址: 213022 江蘇省常州市新北*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 內含 大小 不同 粒徑 物質 切削 淘洗 裝置
【說明書】:

技術領域

發明涉及一種內含固相物質液體的過濾裝置,具體涉及一種用于內含大小兩種不同粒徑固相物質廢切削液的淘洗分濾裝置。屬于工業廢液處理技術。

背景技術

在工業生產領域,常有內含固相物質的廢液排放,這不但會造成環境污染,而且還會浪費可用資源。

諸如硅片的工業生產,常用含有顆粒碳化硅和聚乙二醇組成的砂漿,作為硅片的切割液。而經過硅片切割后的所述切割液(砂漿)中,除了顆粒碳化硅之外,還含有顆粒晶體硅,從而使所述廢切削液成為顆粒碳化硅、顆粒晶體硅和聚乙二醇三元二相液態混合物。

而在所述三元二相液態混合物中,顆粒碳化硅的粒徑一般在0.06~0.20um范圍內,而顆粒晶體硅的粒徑一般在0.01~0.05um范圍內。也就是說晶體硅顆粒要比碳化硅顆粒細小得很多。

由于碳化硅和聚乙二醇均具有重復利用的價值,因此,工業上常常會對所述廢砂漿(切削液)實施提煉再生處理。已有再生處理技術是,先在廢砂漿中加入一定量的凈水后,進行淡化壓濾,分離出碳化硅和晶體硅混合物;后加熱蒸發除去極小量水分,再經濃縮提取聚乙二醇。

已有的再生處理技術存在一個明顯的不足是,在經分離出來的所述混合物中,含有較多含量的晶體硅,如果將分離出來的所述混合物,作為切割砂漿原料回用的話,那么由于晶體硅的存在,就會直接影響晶體硅片的切割(切削)效果和切割精度,這是工業硅片生產所不歡迎的,也是不能被接受的。

為此,研發一種能夠在廢切削液(砂漿)中,分別有效分濾出碳化硅和晶體硅的廢切削液分濾裝置,便成為業內的期待。

發明內容

本發明旨在提供一種用于內含大小兩種不同粒徑固相物質的廢切削液的淘洗分濾裝置,以有效克服已有技術的不足。

本發明實現其目的所采取的技術方案是:

一種用于內含大小兩種不同粒徑固相物質的廢切削液的淘洗分濾裝置,包括電動攪拌器和架座,而其還包括:

一淘洗分濾筒;所述淘洗分濾筒包括具有第一上法蘭和第一下法蘭且周壁呈格柵狀的圓柱形的淘洗筒體,以及覆貼固定在淘洗筒體表面的用來阻斷廢切削液中大顆粒固相物質通過的第一濾網,和用來讓廢切削液中小顆粒固相物質通過的第二濾網;第一濾網的網孔孔徑,小于所述大顆粒固相物質的粒徑,第二濾網的網孔孔徑,大于所述小顆粒固相物質的粒徑;所述第一濾網布置在廢切削液流向的上游,而第二濾網緊隨第一濾網之后布置;

一廢液分濾筒;所述廢液分濾筒包括具有第二上法蘭和第二下法蘭且下端呈圓錐狀的濾液筒體,固定在濾液筒體內表面且沿濾液筒體軸向有間距分開布置的凸條,和覆貼在凸條表面且與濾液筒體固定連接的濾液網;所述濾液網的網孔孔徑,小于廢切削液中大顆粒固相物質的粒徑;在濾液筒體的下部,設有用來排出已被處理的廢切削液的排液口。

一用來排出大顆粒固相物質的排物閥;所述排物閥與濾液筒體的第二下法蘭連接;打開排物閥,存在于濾液筒體內的大顆粒固相物質,經由第二下法蘭的內孔排出;

一淘洗筒體蓋;所述淘洗筒體蓋與淘洗筒體的第一上法蘭密封連接;淘洗筒體蓋設有待處理廢切削液進口管和由廢液分濾筒的排液口排出的已被處理的廢切液進口管;

一接料盤;所述接料盤的內圓與淘洗筒體的外圓相密合配置,接料盤的底面與淘洗筒體的第一下法蘭連接;所述接料盤設有用來排出內含小顆粒固相物質廢切削液的出料管;

而所述淘洗筒體的第一下法蘭與濾液筒體的第二上法蘭同中心密封對接且與機座固定連接;

而所述電動攪拌器的電動機固定在淘洗筒體蓋上,與電動機同軸連接的攪拌軸,沿淘洗筒體和濾液筒體中心線布置;攪拌槳葉的外側端圓周運動的軌跡,靠近淘洗分濾筒和廢液分濾筒的內圓壁面;所述電動機通過開關實現倒順雙向旋轉。

由以上所給出的技術方案結合晶體硅廢切削液的處理可以明了,當加入凈水的所述廢切削液(砂漿)進入本發明的淘洗分濾筒和廢液分離筒內后,在攪拌器的攪拌翻動下,被處理液中的細顆粒晶體硅(粒徑為0.01~0.05um)受到反復不斷的淘洗,且在攪拌槳葉的推動下,穿過比顆粒晶體硅粒徑大而比顆粒碳化硅粒徑小的網孔的第一濾網,經由與顆粒晶體硅粒徑等同的網孔的第二濾網排出,然后進入回收池再經壓濾得到顆粒晶體硅;而被第一濾網阻斷的顆粒碳化硅、經反復淘洗后,在淘洗掉被其粘附在表面的顆粒晶體硅之后,沉降到廢液分離筒內,其所含有的液相物質,通過排液口排入回收池;而失水的碳化硅則由排物閥排出,從而從廢切削液(砂漿)中成功地分離出顆粒晶體硅和顆粒碳化硅,實現了本發明的目的。

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