[發(fā)明專利]紫外激光固化布線方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110344285.7 | 申請日： | 2011-11-04 |
| 公開（公告）號： | CN102426413A | 公開（公告）日： | 2012-04-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳棟南 | 申請（專利權(quán)）人： | 牧東光電(蘇州)有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;G06F3/041 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215126 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 紫外 激光 固化 布線 方法 | ||
1.一種紫外激光固化布線方法，其特征在于，包括：
在千級無塵室中，
光學(xué)級PET基層單面鍍金屬導(dǎo)電材料的步驟；
在光學(xué)級PET基層金屬導(dǎo)電材料上貼含固化劑的光阻膜后，并且烘烤的步驟；
用紫外激光曝光含固化劑的光阻膜，10％的KOH溶液顯影，3.5mol/L的鹽酸蝕刻，3.5％的NaOH溶液脫膜，形成電極走線和金屬串聯(lián)感應(yīng)單元組的步驟。
2.如權(quán)利要求1所述紫外激光固化布線方法，其特征在于：所述金屬導(dǎo)電材料為銅、銅鈮鉻合金或者銀鈀銅合金構(gòu)成；金屬表面方阻值為0.1歐姆～0.3歐姆。
3.如權(quán)利要求1所述紫外激光固化布線方法，其特征在于：所述光學(xué)級PET基層厚度為50微米～200微米；金屬串聯(lián)感應(yīng)單元組和電極走線的厚度為金屬串聯(lián)感應(yīng)單元組的線跡寬度為1微米～10微米。
4.如權(quán)利要求1所述紫外激光固化布線方法，其特征在于：所述含固化劑的光阻膜的厚度為4微米～6微米；其中，固化劑為自由基光引發(fā)劑和陽離子光引發(fā)劑；含固化劑的光阻膜為負(fù)型光阻。
5.如權(quán)利要求1所述紫外激光固化布線方法，其特征在于：所述烘烤溫度為133攝氏度～137攝氏度，烘烤時間為14分鐘～16分鐘。
6.如權(quán)利要求1所述紫外激光固化布線方法，其特征在于：所述紫外激光的波長365納米，紫外激光的功率為5KW，紫外激光的光束直徑為1微米～10微米，紫外激光的光照速度為2米/秒。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于牧東光電(蘇州)有限公司，未經(jīng)牧東光電(蘇州)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110344285.7/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
