[發明專利]基板檢查系統

有效

• 申請號: 201110342992.2
• 申請日: 2011-10-25
• 公開（公告）號: CN102608114A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 松下明;森弘之;川田哲博;吉田政臣
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N23/00
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;郭曉東

1.一種基板檢查系統，具有管理系統和多種檢查機，所述多種檢查機設在部件安裝基板的安裝作業線上，所述管理系統用于管理各檢查機的動作，其特征在于，

所述管理系統具有：

部件種類信息存儲單元，其保存部件種類信息，所述部件種類信息是指，針對每個部件種類歸納了應對各部件種類的部件實施的檢查項目的信息，

檢查單元存儲單元，其針對每個檢查項目保存用作實施該檢查項目的檢查的檢查單元的檢查機或檢查機的組合，

部件確定單元，其針對每個部件確定安裝在檢查對象基板上的部件的位置以及部件種類，

按部件執行處理單元，其針對每個由所述部件確定單元確定的部件，執行第一處理和第二處理，其中，所述第一處理是指，針對該部件的部件種類，利用保存在部件種類信息存儲單元中的部件種類信息，來識別應對該部件實施的檢查項目的處理，所述第二處理是指，針對所識別的檢查項目，利用保存在檢查單元存儲單元中的信息，來選擇用于對該檢查項目實施檢查的檢查單元的處理，

菜單生成單元，其基于所述部件確定單元及按部件執行處理單元的處理結果，生成檢查菜單信息，所述檢查菜單信息是指，針對安裝在所述基板上的每個部件，將表示對該部件實施的檢查項目和用作實施該檢查的檢查單元的檢查機的信息，與該部件的部件種類以及位置信息建立了關聯的信息；

各檢查機具有：

檢查菜單輸入單元，其輸入由所述管理系統生成的檢查菜單信息，

檢查程序存儲單元，其針對每個部件種類保存與自身裝置能夠實施的檢查項目相關的檢查程序，

檢查對象識別單元，其通過分析由所述檢查菜單輸入單元輸入的檢查菜單信息，來識別在自身裝置的檢查對象部件，并從檢查菜單信息中提取檢查對象部件的位置、部件種類以及對該部件實施的檢查項目，

檢查信息生成單元，其利用所述檢查對象識別單元所提取的信息，來針對每個檢查對象部件執行第三處理和第四處理，由此生成對檢查對象基板的檢查所需要的檢查信息，所述第三處理是指，針對對該部件實施的檢查項目，從檢查程序存儲單元讀取與該部件的部件種類適合的檢查程序的處理，所述第四處理是指，將所讀取的檢查程序與該部件的位置信息建立關聯的處理，

檢查執行單元，其利用由所述檢查信息生成單元生成的檢查信息來執行檢查。

2.根據權利要求1記載的基板檢查系統，其特征在于，

所述管理系統還具有操作單元和顯示單元，所述操作單元用于進行選擇檢查機的操作，所述顯示單元用于顯示信息；

在所述檢查單元存儲單元中保存的信息中包含針對每個檢查項目示出各檢查單元的檢查能力的檢查能力信息；

所述按部件執行處理單元，在存在多個能夠實施針對處理對象部件識別出的檢查項目的檢查單元時，將表示這些檢查單元的選項與各自的檢查能力信息一起顯示在所述顯示單元上，并且，響應于在該顯示狀態下在所述操作單元所進行的選擇檢查單元的操作，來選擇由該操作選擇的檢查單元。

3.根據權利要求1記載的基板檢查系統，其特征在于，

所述管理系統還具有操作單元，該操作單元用于輸入在生產作業線上實施的檢查的目標；

在所述檢查單元存儲單元中保存的信息中包含針對每個檢查項目示出各檢查單元的檢查能力的檢查能力信息；

所述按部件執行處理單元，在存在多個能夠實施針對處理對象部件識別出的檢查項目的檢查單元時，選擇具有與由所述操作單元輸入的目標適合的檢查能力的檢查單元或檢查單元的組合。

4.根據權利要求1記載的基板檢查系統，其特征在于，

所述管理系統還具有操作單元，該操作單元用于進行變更所述按部件執行處理單元的對處理對象部件的檢查基準的操作；

所述按部件執行處理單元，在選擇了用于實施針對處理對象部件識別出的檢查項目的檢查單元之后，在所述操作單元進行了變更有關該檢查項目的檢查基準的操作時，將變更后的所述檢查基準應用于處理對象部件；

所述菜單生成單元針對應用了變更后的所述檢查基準的部件，生成示出該檢查基準的檢查菜單信息；

在各檢查機中，在所述識別單元對所述檢查菜單信息的分析處理中，判別變更后的檢查基準是否適用于設定為在自身裝置中進行檢查的部件，并且，在檢查信息生成單元對檢查信息的生成處理中，對應用了變更后的所述檢查基準的部件，讀取與變更后的該檢查基準相對應的檢查程序。

5.根據權利要求4記載的基板檢查系統，其特征在于，

所述管理系統還具有設計信息輸入單元和顯示單元，所述設計信息輸入單元用于輸入檢查對象基板的設計信息，所述顯示單元用于顯示信息；

所述按部件執行處理單元，通過對所述設計信息輸入單元所輸入的設計信息中的有關處理對象部件及其周圍的構成物的信息進行分析，判別對處理對象部件的檢查造成影響的事項，并將判別結果顯示在所述顯示單元上，在該顯示狀態下接受變更所述檢查基準的操作。