[發(fā)明專利]一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110342087.7
• 申請(qǐng)日: 2011-11-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102581971A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙元亞;王祿寶;蔡金榮;張錦根;徐進(jìn);鄂嶺
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇吉星新材料有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/00
• 分類號(hào): B28D7/00;B28D5/04
• 代理公司: 上海海頌知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31258
• 代理人: 季萍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，特別涉及一種切割藍(lán)寶石用的電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，屬于藍(lán)寶石切片設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

藍(lán)寶石是加工藍(lán)光二極管的重要材料，在半導(dǎo)體領(lǐng)域具有舉足輕重的地位。在形成用于制作藍(lán)寶石襯片之前，要對(duì)藍(lán)寶石進(jìn)行切片。現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)藍(lán)寶石多采用線切割工藝進(jìn)行加工，加工時(shí)，通過(guò)高速運(yùn)動(dòng)的切割線對(duì)藍(lán)寶石進(jìn)行切片。藍(lán)寶石襯片切片是藍(lán)寶石基板制造中非常重要的一項(xiàng)工藝流程，它決定了藍(lán)寶石切片后晶片的總厚度變化，翹曲度，表面粗糙度等相關(guān)質(zhì)量，直接影響到接下來(lái)的雙面研磨，倒角，拋光等工序。傳統(tǒng)的垂直線向下切割的方式在切割過(guò)程中由于切割線接觸面積大，造成了切割緩慢，切割時(shí)間長(zhǎng)，效率低等問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目得是提供一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，以減少藍(lán)寶石襯片的切割時(shí)間，提高切割效率。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括擺動(dòng)頭、擺動(dòng)裝置，所述擺動(dòng)頭與藍(lán)寶石的工作臺(tái)相連；所述擺動(dòng)裝置設(shè)置在所述擺動(dòng)頭內(nèi)，所述擺動(dòng)裝置包括固定設(shè)置在所述擺動(dòng)頭上的弧形齒條、擺動(dòng)構(gòu)件及驅(qū)動(dòng)裝置，所述擺動(dòng)裝置的下端設(shè)有齒輪，所述齒輪與所述弧形齒條相嚙合，所述擺動(dòng)構(gòu)件可活動(dòng)的設(shè)置在所述擺動(dòng)頭上，工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)擺動(dòng)構(gòu)件擺動(dòng)，通過(guò)齒輪與弧形齒條配合帶動(dòng)擺動(dòng)頭擺動(dòng)。

上述一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括第一挺桿、第二挺桿、可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述擺動(dòng)頭內(nèi)的第一凸輪、可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述擺動(dòng)頭內(nèi)的第二凸輪、與動(dòng)力源相連的驅(qū)動(dòng)齒輪，所述第一、第二凸輪分別通過(guò)正時(shí)皮帶與驅(qū)動(dòng)齒輪相連；所述第一挺桿一端與所述擺動(dòng)構(gòu)件一側(cè)活動(dòng)連接，另一端抵在所述第一凸輪上；所述第二挺桿一端與所述擺動(dòng)構(gòu)件的另一側(cè)活動(dòng)連接，另一端抵在所述第二凸輪上；工作時(shí)，第一挺桿與第一凸輪的配合與第二挺桿與第二凸輪的配合相交錯(cuò)。

本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)以下有益效果：

1、在切割作業(yè)時(shí)，本電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)由電機(jī)驅(qū)動(dòng)左右擺動(dòng)，帶動(dòng)藍(lán)寶石晶棒以晶棒軸心左右傾斜，使金剛線接觸的切割面由原來(lái)的整個(gè)晶棒變?yōu)橐跃О糨S心為中心的局部切割面，使金剛線能夠快速的對(duì)藍(lán)寶石晶棒進(jìn)行切割，提高切割效率。

2、由于擺動(dòng)頭通過(guò)挺桿與凸輪的配合實(shí)現(xiàn)擺動(dòng)，不僅實(shí)現(xiàn)了擺動(dòng)頭來(lái)回?cái)[動(dòng)的功能，而且保證了擺動(dòng)頭擺動(dòng)的角度和協(xié)調(diào)性。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明的左擺結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本發(fā)明的右擺結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。

如圖所示，為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括擺動(dòng)頭1、擺動(dòng)裝置2，所述擺動(dòng)頭1與藍(lán)寶石的工作臺(tái)3相連，工作臺(tái)3上連接有藍(lán)寶石晶棒4；所述擺動(dòng)裝置2設(shè)置在所述擺動(dòng)頭1內(nèi)，所述擺動(dòng)裝置2包括通過(guò)緊固件及齒條固定座9或其他方式固定設(shè)置在所述擺動(dòng)頭1上的弧形齒條21、擺動(dòng)構(gòu)件22及驅(qū)動(dòng)裝置23，擺動(dòng)構(gòu)件22為一條形構(gòu)件，擺動(dòng)構(gòu)件22上端通過(guò)擺動(dòng)軸5設(shè)置在擺動(dòng)頭1的上端，擺動(dòng)構(gòu)件22的下端設(shè)有齒輪221，所述齒輪221與所述弧形齒條21相嚙合，為了保證嚙合的精準(zhǔn)性，可將齒輪221設(shè)計(jì)為圓弧形齒輪，工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)裝置23帶動(dòng)擺動(dòng)構(gòu)件22擺動(dòng)，通過(guò)齒輪221與弧形齒條21配合帶動(dòng)擺動(dòng)頭1左右手?jǐn)[動(dòng)。在切割作業(yè)時(shí)，擺動(dòng)裝置由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)左右擺動(dòng)，帶動(dòng)藍(lán)寶石晶棒以晶棒軸心左右傾斜，使金剛線接觸的切割面由原來(lái)的整個(gè)晶棒變?yōu)橐跃О糨S心為中心的局部切割面，使金剛線能夠快速的對(duì)藍(lán)寶石晶棒進(jìn)行切割，提高切割效率。