[發明專利]一種帶法-珀腔結構的硅微自諧振二維加速度傳感器

無效

• 申請號: 201110341470.0
• 申請日: 2011-11-02
• 公開（公告）號: CN102435778A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 劉妤;王國超;米林;郭長文
• 申請（專利權）人: 重慶理工大學
• 主分類號: G01P15/18
• 分類號: G01P15/18
• 代理公司: 重慶博凱知識產權代理有限公司 50212
• 代理人: 張先蕓

1.一種帶法-珀腔結構的硅微自諧振二維加速度傳感器，其特征在于：包括襯底（1）、固定支撐（2）、慣性質量塊（3）和諧振微梁（5）；所述固定支撐（2）為筒狀結構，固定支撐（2）的底端固定在襯底（1）上；所述慣性質量塊（3）為苜蓿葉形狀，慣性質量塊（3）通過四周凹腔內分別設置的、呈對稱結構的諧振微梁（5）懸掛于固定支撐（2）的中部，并位于襯底（1）的正上方；所述諧振微梁（5）通過固定支撐（2）與襯底（1）歐姆接觸；所述諧振微梁（5）與襯底（1）之間構成高精度的法布里-珀羅諧振腔（4）。

2.根據權利要求1所述的帶法-珀腔結構的硅微自諧振二維加速度傳感器，其特征在于：所述諧振微梁（5）的一端連接在慣性質量塊（3）的凹腔內正中部，另一端連接在固定支撐（2）上。