[發明專利]功能元件及其制造方法、物理量傳感器以及電子設備

無效

• 申請號: 201110340071.2
• 申請日: 2011-11-01
• 公開（公告）號: CN102538830A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 與田光宏;河野秀逸;高木成和;山崎成二
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;馬建軍

1.一種功能元件，其特征在于，該功能元件具有：

絕緣基板；

可動部；

可動電極指，其設置在上述可動部上；以及

固定電極指，其設置在上述絕緣基板上，并且與上述可動電極指相對地配置，

上述固定電極指包含配置在上述可動電極指的一側的第1固定電極指和配置在另一側的第2固定電極指，

上述第1固定電極指與上述第2固定電極指相互離開地配置。

2.根據權利要求1所述的功能元件，其特征在于，

在上述絕緣基板上設置有固定部，

上述可動部經由連接部與上述固定部連接。

3.根據權利要求1所述的功能元件，其特征在于，

在上述絕緣基板上設置有與上述第1固定電極指電連接的第1布線以及與上述第2固定電極指電連接的第2布線中的至少一個布線。

4.根據權利要求3所述的功能元件，其特征在于，

在上述絕緣基板上設置有凹部，

上述布線設置在上述凹部內。

5.根據權利要求4所述的功能元件，其特征在于，

上述第1固定電極指和上述第2固定電極指中的至少一方經由具有導電性的突起與上述布線連接。

6.根據權利要求3所述的功能元件，其特征在于，

上述布線具有設置有絕緣膜的部分。

7.根據權利要求3所述的功能元件，其特征在于，

在上述第1固定電極指和上述第2固定電極指中的至少一方上設置有在厚度方向貫通的導體部，

上述導體部與上述布線連接。

8.根據權利要求3所述的功能元件，其特征在于，

上述布線由透光性的電極材料構成。

9.根據權利要求1所述的功能元件，其特征在于，

上述絕緣基板由含有堿金屬離子的材料構成，

上述固定電極指由半導體構成，

上述固定電極指通過陽極接合法與上述絕緣基板接合。

10.根據權利要求1所述的功能元件，其特征在于，

上述固定電極指由單一的部件構成。

11.根據權利要求1所述的功能元件，其特征在于，

分別設置有多個上述第1固定電極指和上述第2固定電極指，

一體地設置上述第1固定電極指彼此和上述第2固定電極指彼此中的至少一方。

12.一種功能元件的制造方法，其特征在于，該功能元件的制造方法具有以下步驟：

在第1基板上形成空洞部；

在上述第1基板上載置第2基板；以及

通過蝕刻上述第2基板，形成固定部、可動部、連接部以及固定電極指，其中，上述固定部設置在上述第1基板上，上述可動部具有可動電極指，并且配置在上述空洞部上，上述連接部連接上述可動部和上述固定部，上述固定電極指設置在上述第1基板上，并且與上述可動電極指相對地配置。

13.一種物理量傳感器，其特征在于，該物理量傳感器具有權利要求1所述的功能元件。

14.一種電子設備，其特征在于，該電子設備具有權利要求1所述的功能元件。