[發(fā)明專利]支撐單元及具有支撐單元的襯底處理設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110339462.2
• 申請(qǐng)日: 2011-11-01
• 公開（公告）號(hào): CN102456599A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李鎮(zhèn)煥;李亨根
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AP系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L33/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種支撐單元，用于對(duì)待處理物體進(jìn)行加熱，所述支撐單元包括：

加熱器塊，其經(jīng)配置以對(duì)所述待處理物體進(jìn)行加熱；

傳熱板，其連接到所述加熱器塊的一側(cè)；以及

金屬板，其設(shè)置在所述傳熱板與所述待處理物體之間，所述金屬板的一側(cè)連接到所述傳熱板且另一側(cè)連接到所述待處理物體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐單元，其進(jìn)一步包括設(shè)置在所述金屬板上的基座。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐單元，其中利用石墨基材料、硅基材料、丙烯酸基材料以及尿烷基材料中的一者制造所述傳熱板。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐單元，其中利用鎢、鉬、鋁、硅、鈦、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、銀、錫、鉑、金、汞、鉛、鈾、钚以及包含前述材料中至少一者的合金中的一者制造所述金屬板。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐單元，其進(jìn)一步包括冷卻塊，連接到所述加熱器塊的另一側(cè)以使得所述加熱器塊冷卻。

6.一種襯底處理設(shè)備，用于處理待處理物體，所述襯底處理設(shè)備包括：

室部分，其經(jīng)配置以提供內(nèi)部空間；

下部支撐單元，其設(shè)置在所述室部分內(nèi)部以支撐下部襯底并對(duì)其進(jìn)行加熱；以及

上部支撐單元，其經(jīng)設(shè)置以對(duì)應(yīng)于下部加熱器從而支撐上部襯底并對(duì)其進(jìn)行加熱，

其中，所述下部支撐單元以及所述上部支撐單元中的每一者均包括經(jīng)配置以對(duì)所述待處理物體進(jìn)行加熱的加熱器塊、連接到所述加熱器塊一側(cè)的傳熱板以及設(shè)置在所述傳熱板與所述待處理物體之間的金屬板，所述金屬板的一側(cè)連接到所述傳熱板且另一側(cè)連接到所述待處理物體。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的襯底處理設(shè)備，其中利用石墨基材料、硅基材料、丙烯酸基材料以及尿烷基材料中的一者制造所述傳熱板。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的襯底處理設(shè)備，其進(jìn)一步包括冷卻塊，連接到所述加熱器塊的另一側(cè)以使得所述加熱器塊冷卻。