[發明專利]硅片裝夾結構

無效

• 申請號: 201110339457.1
• 申請日: 2011-11-01
• 公開（公告）號: CN102501326A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 吳堅
• 申請（專利權）人: 無錫泰立特科技有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 劉瑞平

技術領域

本發明涉及硅片清洗工裝領域，具體為硅片裝夾結構。

背景技術

硅棒膠粘于連接件，通過連接件固定于切割機，然后進行硅片的切割，切割完成后需要將硅片進行清洗，此時已切割好的硅片仍膠粘于連接件上，以往是將切割好的硅片與連接件一起人工搬運至清洗工位，工作效率低，且在搬運過程中的碰撞會導致硅片的損壞?，F在業內用的硅片夾具結構如圖1所示，其包括加強板6，加強板6橫向兩端分別對稱安裝有彎板3，彎板3的縱向兩端分別焊接有圓桿1，圓桿1兩端套裝有限位環7；加強板6中心部位開有螺孔，螺孔內設置有螺釘5，螺釘5上部設置有銷4；螺釘5通過螺母8固定。2為把手，?9為連接件，10為硅片。在此結構中，螺母8鎖緊螺釘5頂緊連接件9來固定連接件和硅片，但是一般情況下硅片的重量是很大的，在整個機構行進中使螺釘5不足以固定住連接件9，造成連接件9和硅片10的晃動，可能會導致安全事故發生。

發明內容

針對上述現有硅片夾具的缺點，本發明提供了硅片裝夾結構，其能夠有效固定住連接件和硅片，在機構行進中不會發生連接件和硅片晃動情況，從而有效避免安全事故發生。

其具體技術方案是這樣的：硅片裝夾結構，其包括加強板，所述的加強板兩端對稱安裝有彎板，所述的彎板縱向兩端分別安裝有圓桿，所述的圓桿兩端套裝有限位環；所述的加強板中心處開有螺孔，所述的螺孔內設置有螺釘，所述的螺釘上部設置有銷，所述的螺釘通過螺母固定，其特征在于：與硅片膠粘的連接件設置有螺孔，所述的螺釘與所述的連接件通過所述的螺孔連接。

本發明采用上述結構，當工作時，由于螺釘旋入連接體，這樣可以有效固定住連接體和硅片，在機構行進中不會發生連接件和硅片晃動情況，從而有效避免安全事故發生。

附圖說明

圖1為原有硅片夾具結構使用示意圖；

圖2為本發明結構使用示意圖。

具體實施方式

如圖2所示，本發明包括加強板6，加強板6兩端對稱安裝有彎板3，彎板3縱向兩端安裝有圓桿1，圓桿1兩端套裝有限位環7；加強板6中心處開有螺孔，螺孔內設置有螺釘5，螺釘5上部設置有銷4，螺釘5通過螺母8固定，彎板3壁內與圓桿1相接處設置有軸承11。圖1為原有硅片夾具結構使用示意圖，圖中2為把手，9為連接件，10為硅片。連接件9設置有螺孔，螺釘5與連接件9通過螺孔連接。

硅棒切割成硅片后，連接件9仍與硅片10上部固定，將連接件9卡接入加強板6與其兩端彎板3形成的空腔內，旋轉銷4帶動螺釘5旋進連接件9的螺孔中，鎖緊螺母8，將連接件9和硅片10固定住，在輸送過程中，結構兩端的圓桿1擱置于行進機構上，由行進機構將已切割好的硅片送到清洗工位，圓桿1上的限位環7控制結構不易走偏。