[發明專利]激光加工裝置

有效

• 申請號: 201110339388.4
• 申請日: 2011-11-01
• 公開（公告）號: CN102554475A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 能丸圭司
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/08;B23K26/06;B23K26/42
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種激光加工裝置，該激光加工裝置具有：保持被加工物的卡盤臺；以及對保持在該卡盤臺上的被加工物照射激光線的脈沖激光線照射單元，該脈沖激光線照射單元具有：脈沖激光線振蕩器，其振蕩出脈沖激光線；聚光器，其對該脈沖激光線振蕩器振蕩出的脈沖激光線進行會聚而照射至保持在卡盤臺上的被加工物；以及光傳送單元，其將該脈沖激光線振蕩器振蕩出的脈沖激光線引導至聚光器，

該激光加工裝置的特征在于，

該光傳送單元具有：

波段擴展單元，其對該脈沖激光線振蕩器振蕩出的脈沖激光線的波段進行擴展；

脈沖時間寬度擴展單元，其對由該波段擴展單元擴展了波段后的脈沖激光線的脈沖時間寬度進行擴展；

聚光透鏡，其對由該脈沖時間寬度擴展單元擴展了脈沖時間寬度后的脈沖激光線進行會聚；

光纖，其入射由該聚光透鏡會聚后的脈沖激光線而進行傳送；

修正透鏡，其將由該光纖傳送的脈沖激光線修正為平行光；以及

脈沖時間寬度壓縮單元，其將被該修正透鏡修正為平行光的脈沖激光線壓縮為原來的脈沖時間寬度而傳送到該聚光器。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

該波段擴展單元包括：

棒型光子晶體光纖；

聚光透鏡，其配置在該棒型光子晶體光纖的入光側，對脈沖激光振蕩器振蕩出的脈沖激光線進行會聚；以及

修正透鏡，其配置在該棒型光子晶體光纖的出光側，將從該棒型光子晶體光纖射出的脈沖激光線修正為平行光。

3.根據權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，

該脈沖時間寬度擴展單元具有：第一分束器，其使由該波段擴展單元擴展了波段后的脈沖激光線透過；第一1/4波長板，其將透過該第一分束器的脈沖激光線轉換為圓偏振光的脈沖激光線；以及脈沖時間寬度擴展元件，其針對由該第一1/4波長板轉換得到的圓偏振光的脈沖激光線，在整個波段中擴展脈沖時間寬度而進行反射，由該脈沖時間寬度擴展元件反射而逆轉了旋轉方向后的圓偏振光的脈沖激光線被該第一1/4波長板將偏光面旋轉90度而成為二次直線偏振光，之后，經由該第一分束器被引導至該聚光透鏡，

該脈沖時間寬度壓縮單元具有：第二分束器，其使被該修正透鏡修正為平行光的脈沖激光線透過；第二1/4波長板，其將透過該第二分束器的脈沖激光線轉換為圓偏振光的脈沖激光線；以及脈沖時間寬度壓縮元件，其針對由該第二1/4波長板轉換得到的圓偏振光的脈沖激光線，在整個波段中壓縮脈沖時間寬度而進行反射，由該脈沖時間寬度壓縮元件反射而逆轉了旋轉方向后的圓偏振光的脈沖激光線被該第二1/4波長板將偏光面旋轉90度，從而二次直線偏振光的脈沖激光線恢復為該脈沖激光線振蕩器振蕩出的脈沖激光線，之后經由該第二分束器被引導至該聚光器。