[發明專利]一種高透過率光子篩無效
| 申請號： | 201110338648.6 | 申請日： | 2011-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN103091751A | 公開（公告）日： | 2013-05-08 |
| 發明（設計）人： | 謝常青;辛將;朱效立;劉明 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 透過 光子 | ||
1.一種高透過率光子篩，其特征在于，包括：
不透光金屬薄膜，所述金屬薄膜上設置有多組不同邊長的透光方形微孔，每組方形微孔間隔分布在同一圓環上，各組方形微孔所在的圓環為一系列半徑不同的同心圓，第m個圓環的半徑rm和環帶寬度wm滿足關系式：
rm2＝2mfλ+m2λ2，wm＝rm-rm-1，m＝1、2、3...
所述λ是入射光波長，所述f是光子篩焦距；
并且分布在第m個圓環的方形微孔的邊長am滿足關系式：
am＝0.5wm～2.0wm。
2.根據權利要求1所述光子篩，其特征在于，所述方形微孔的對角線與其所在環帶的切線平行或垂直。
3.根據權利要求2所述光子篩，其特征在于，所述方形微孔的邊長為
4.根據權利要求1所述光子篩，其特征在于，所述不透光金屬薄膜厚度為1.5λ～2.0λ，且大于80nm。
5.根據權利要求1所述光子篩，其特征在于，所述不透光金屬薄膜的制作材料為金。
6.根據權利要求1所述光子篩，其特征在于，所述不透光金屬薄膜的制作材料為銀。
7.根據權利要求1所述光子篩，其特征在于，所述入射光波長λ小于190nm時，所述光子篩還包括透光襯底，所述金屬薄膜鍍在所述透光襯底表面上。
8.根據權利要求1所述光子篩，其特征在于，所述透光襯底的材料為透光材料。
9.根據權利要求8所述光子篩，其特征在于，所述透光材料為有機玻璃。
10.根據權利要求9所述光子篩，其特征在于，所述透光材料為石英玻璃。
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