[發明專利]MEMS角速度傳感器的溫度穩定性能保障的有源溫度變化補償控制裝置及方法

無效

• 申請號: 201110338354.3
• 申請日: 2011-10-19
• 公開（公告）號: CN103064444A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 郭松
• 申請（專利權）人: 郭松
• 主分類號: G05D23/19
• 分類號: G05D23/19
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.MEMS角速度傳感器的放置感應角速度感應微小機械的密閉空間的溫度恒定的控制方法。是同時監視放置感應角加速度感應微小機械的密閉空間內及MEMS角速度傳感器外的環境溫度，根據放置角加速度感應微小機械的密閉空間內及MEMS角速度傳感器外的環境溫度的溫差和加速度感應微小機械的密閉空間內溫度變化的速度，內外溫度的變化速度及內外傳熱的量的大小，對放置角加速度感應微小機械的密閉空間加熱進行有源控制從而控制其溫度變化的速度，使感應角速度的微小機械保持其機械特性不發生激烈變化從而保證MEMS角速度傳感器輸出精度的方法。

2.該MEMS角速度傳感器的MEMS角速度傳感器的角速度感應微小機械所放置的密閉空間的恒溫控制裝置由以下幾部分組成：a，密閉室內溫度傳感器：此傳感器用于感應MEMS角速度傳感器的感應角速度信號的微小機械所放置的密閉室內的溫度；b，環境溫度傳感器：此傳感器用于感應MEMS角速度傳感器所放置環境的環境溫度；c，微小加熱器：用于加熱MEMS角速度傳感器的感應角速度信號的微小機械所放置的密閉室的溫度；d，溫度變化速度控制器：該溫度變化速度控制器，根據密閉室內溫度傳感器及環境溫度傳感器的得到的溫度值及溫度的變化情況，同時參考MEMS角速度傳感器的感應角速度信號的微小機械所放置的密閉室壁的熱傳導速度，對微小加熱器進行控制，使密閉室內的溫度的變化速度保持在一定的范圍之內。