[發明專利]具有大范圍和高深-寬比測量能力的掃描隧道顯微鏡

無效

• 申請號: 201110338282.2
• 申請日: 2011-11-01
• 公開（公告）號: CN102384986A
• 公開（公告）日: 2012-03-21
• 發明（設計）人: 居冰峰;陳遠流;張威;朱吳樂;楊舜堯
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G01Q60/14
• 分類號: G01Q60/14
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

1.一種具有大范圍和高深-寬比測量能力的掃描隧道顯微鏡，其特征在于包括L型基座（1）、第一轉接板（2）、X軸手動平移臺（3）、Y軸手動平移臺（4）、X軸直流電動平移臺（5）、Y軸直流電動平移臺（6）、手動傾角臺（7）、第二轉接板（8）、樣品臺（9）、第三轉接板（11）、Z軸手動平移臺（12）、Z軸直流電動平移臺（13）、壓電陶瓷固定塊（14）、壓電陶瓷（15）、前置放大電路單元（16）、探針夾持機構（17）和探針（18）；L型基座（1）底板、第一轉接板（2）、X軸手動平移臺（3）、Y軸手動平移臺（4）、X軸直流電動平移臺（5）、Y軸直流電動平移臺（6）、手動傾角臺（7）、第二轉接板（8）、樣品臺（9）順次相連，L型基座（1）側板上部設有第三轉接板（11），第三轉接板（11）上順次設有Z軸手動平移臺（12）、Z軸直流電動平移臺（13）、壓電陶瓷固定塊（14），壓電陶瓷固定塊（14）垂直設有壓電陶瓷（15），壓電陶瓷（15）下端順次設有前置放大電路單元（16）、探針夾持機構（17）和探針（18）。

2.根據權利要求1所述的一種具有大范圍和高深-寬比測量能力的掃描隧道顯微鏡，其特征在于所述的第三轉接板（11）的材料為尼龍，探針（18）的材料為99.999%純鎢。

3.根據權利要求1所述的一種具有大范圍和高深-寬比測量能力的掃描隧道顯微鏡，其特征在于所述的樣品臺（9）中間設有沉孔，沉孔內裝有圓形磁鐵。

4.根據權利要求1所述的一種具有大范圍和高深-寬比測量能力的掃描隧道顯微鏡，其特征在于所述的手動傾角臺（7）為具有二維角運動自由度調節的手動傾角臺。

5.根據權利要求1所述的一種具有大范圍和高深-寬比測量能力的掃描隧道顯微鏡，其特征在于所述的X軸直流電動平移臺（5）、Y軸直流電動平移臺（6）、Z軸直流電動平移臺（13）行程均為30?mm。

6.根據權利要求1所述的一種具有大范圍和高深-寬比測量能力的掃描隧道顯微鏡，其特征在于所述的壓電陶瓷（15）行程為150?μm。