[發明專利]一種晶硅鑄錠爐熱場熱門控制裝置及其控制方法

無效

• 申請號: 201110336968.8
• 申請日: 2011-10-31
• 公開（公告）號: CN102392293A
• 公開（公告）日: 2012-03-28
• 發明（設計）人: 劉芝;徐芳華;趙波;盧雪梅
• 申請（專利權）人: 杭州精功機電研究所有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 浙江翔隆專利事務所 33206
• 代理人: 張建青

1.一種晶硅鑄錠爐熱場熱門控制裝置，包括絕熱籠、置于絕熱籠內的加熱器和熱交換臺，絕熱籠的下方設有內部通冷卻水的冷板，其特征在于：所述的冷板與絕熱籠底部之間設有中心形成的開口能以中心對稱的方式逐漸向四周打開或向中心閉合的隔熱板組件。

2.根據權利要求1所述的晶硅鑄錠爐熱場熱門控制裝置，其特征在于所述的隔熱板組件由二塊及以上的隔熱板組成，相鄰隔熱板采用搭接的連接結構。

3.根據權利要求2所述的晶硅鑄錠爐熱場熱門控制裝置，其特征在于所述的隔熱板組件由四塊呈周向均布的扇形圓邊形隔熱板組成，所述隔熱板的一側底部開有一弧形容納口，另一側表面開有一弧形搭接臺。

4.根據權利要求3所述的晶硅鑄錠爐熱場熱門控制裝置，其特征在于，相鄰的隔熱板之間設有起連接和傳動作用的連桿機構。

5.根據權利要求3所述的晶硅鑄錠爐熱場熱門控制裝置，其特征在于，所述隔熱板組件的底部設有一起支撐和定位作用的托架。

6.根據權利要求3所述的晶硅鑄錠爐熱場熱門控制裝置，其特征在于，所述隔熱板組件的底部設有起支撐和滑動作用的支撐滑動機構。

7.根據權利要求3所述的晶硅鑄錠爐熱場熱門控制裝置，其特征在于，所述的隔熱板通過水平拉桿與驅動機構連接。

8.權利要求1-7任一項所述晶硅鑄錠爐熱場熱門控制裝置的控制方法，其方法如下：

當硅晶體處于加熱熔化階段時，隔熱板組件處于閉合狀態；在晶體生長過程前期，緩慢抽拉隔熱板在隔熱板組件的中心處形成較小開口，以完成對晶體生長初期成核的控制；當進入晶體生長中期，進一步抽拉隔熱板，開口呈中心對稱的方式逐漸向四周緩慢打開；當處于長晶后期，滿行程打開隔熱板，開口處于最大，完全露出熱場底部；

當晶體處于退火階段，快速抽拉隔熱板至閉合狀態；當晶體處于冷卻階段，快速抽拉隔熱板至全開狀態。