[發(fā)明專利]多晶硅還原系統(tǒng)及其還原氣體原料的進(jìn)料方式有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110335075.1 | 申請日： | 2011-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN102502647A | 公開（公告）日： | 2012-06-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 齊林喜;劉占卿 | 申請（專利權(quán)）人： | 內(nèi)蒙古盾安光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/03 | 分類號： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京智匯東方知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 張群峰;范曉斌 |
| 地址： | 015543 內(nèi)蒙古自*** | 國省代碼： | 內(nèi)蒙古;15 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多晶 還原 系統(tǒng) 及其 氣體 原料 進(jìn)料 方式 | ||
1.一種為至少兩個多晶硅還原爐分別直接提供多晶硅還原氣體原料的方法，包括：
利用氫氣在三氯氫硅液體中鼓泡并同時進(jìn)行外部加熱使三氯氫硅液體汽化而得到氫氣和三氯氫硅的摩爾比為固定值的混合氣體；
將所述混合氣體分為第一路混合氣體和第二路混合氣體；
另外提供氫氣并將其加熱后分為第一路加熱氫氣和第二路加熱氫氣；
將第一路加熱氫氣與第一路混合氣體混合得到氫氣和三氯氫硅的摩爾比為第一預(yù)定值的多晶硅還原氣體原料后直接通入第一多晶硅還原爐；以及
將第二路加熱氫氣與第二路混合氣體混合得到氫氣和三氯氫硅的摩爾比為第二預(yù)定值的多晶硅還原氣體原料后直接通入第二多晶硅還原爐；
其中所述固定值小于所述第一預(yù)定值以及所述第二預(yù)定值。
2.權(quán)利要求1的方法，其中所述第一預(yù)定值和所述第二預(yù)定值均在3.5∶1至4.5∶1之間。
3.權(quán)利要求2的方法，其中所述固定值為3∶1。
4.權(quán)利要求1的方法，所述第一預(yù)定值和所述第二預(yù)定值相等。
5.權(quán)利要求1的方法，所述第一預(yù)定值和所述第二預(yù)定值不等。
6.權(quán)利要求1的方法，其中通過控制混合氣體的溫度和壓力來得到氫氣和三氯氫硅的摩爾比為固定值的混合氣體。
7.權(quán)利要求1的方法，其中通過分別控制第一路加熱氫氣的流量以及第一路混合氣體的流量來得到氫氣和三氯氫硅的摩爾比為第一預(yù)定值的多晶硅還原氣體原料；并且通過分別控制第二路加熱氫氣的流量以及第二路混合氣體的流量來得到氫氣和三氯氫硅的摩爾比為第二預(yù)定值的多晶硅還原氣體原料。
8.一種多晶硅還原系統(tǒng)，包括：
鼓泡式汽化器；
氫氣加熱器；
分別與鼓泡式汽化器和氫氣加熱器相連的多個靜態(tài)混合器；以及
分別與相應(yīng)的靜態(tài)混合器相連的多個多晶硅還原爐。
9.權(quán)利要求8的多晶硅還原系統(tǒng)，還包括與所述多個多晶硅還原爐均相連的尾氣回收系統(tǒng)。
10.權(quán)利要求8的多晶硅還原系統(tǒng)，其中靜態(tài)混合器分別通過相應(yīng)的流量調(diào)節(jié)閥與鼓泡式汽化器和氫氣加熱器相連。
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